Occasion KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003958 à vendre en France
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ID: 9003958
Taille de la plaquette: 4"
Mask aligner, 4"
Split field optics
350 watt light source
Resolution: 1 to 3 microns (process dependent)
Available options:
2" and 3" wafer conversion kits.
KASPER/EATON/QUINTEL 2001 est un équipement spécialisé dans la fabrication de dispositifs de microélectronique. Il est conçu pour positionner avec précision les masques de photolithographie et autres composants sur un substrat pendant le processus de fabrication des plaquettes. La caractéristique clé de l'appareil est sa grande précision. Ceci est réalisé grâce à deux dispositifs distincts, un aligneur de masque EATON et un étage KASPER. Le masque QUINTEL aligneur abrite le photomasque, qui est placé sur un réticule de contrôle de l'image directe laser (LDI). Le réticule de contrôle LDI prend des mesures de détail du substrat, assurant la mise en place la plus précise possible du photomasque. Les données recueillies sont transférées au stade KASPER/EATON/QUINTEL. Ce dispositif utilise des moteurs de précision pour déplacer avec précision le photomasque sur le substrat. Les moteurs sont basés sur la technologie EATON Quadrature Encoder Absolute Positioning (QEAP), qui assure un positionnement très précis du photomasque. Les deux dispositifs combinés permettent d'aligner le masque EATON 2001, ce qui permet un alignement extrêmement précis du masque. KASPER 2001 masque aligner est utilisé dans une variété de processus de lithographie, y compris l'exposition à une seule couche, l'exposition à deux couches et le pré-marquage. Il fait partie d'une gamme plus large d'équipements utilisés dans la création de dispositifs microélectroniques, y compris les sources d'exposition, les systèmes de voie, les paliers de tranches et les chargeurs de tranches de tranches. La conception de QUINTEL 2001 permet une intégration plus aisée avec d'autres outils, réduisant le temps d'installation et la complexité du processus de fabrication. En plus de sa précision et de sa vitesse d'alignement, le masque aligneur 2001 a une gamme de caractéristiques de sécurité intégrées dans la conception. Il est également équipé d'un système de protection contre les pannes de courant assurant le maintien en position du masque, même en cas de coupure de courant, ainsi que d'un système d'alerte de maintenance assurant le bon entretien et le nettoyage régulier de l'appareil. KASPER/EATON/QUINTEL 2001 masque aligner est un équipement extrêmement puissant et fiable, ce qui en fait un outil essentiel dans l'industrie de la microélectronique. Il s'est avéré fiable et efficace, ce qui en fait un choix populaire pour les fabricants et les opérateurs.
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