Occasion MELLES GRIOT 58-805 #140303 à vendre en France
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ID: 140303
Mobile aligner workstation
Vibration dampened sealed hole optical breadboard, 36"x 36"
Nanomax-TX stage
Melles/Thor DRV001 micro adjusters
17AMR001 rotary mount
(2) STC-400 camera
Advanced Illumination CS400 constant current source
Sony PVM-137 monitor
Sony PVM-14N2U monitor
Control cabinet contains:
P/N 17MMR001 control chassis
P/N 17MST001 stepper motor controller
P/N 17MIO001 digital I/O controller
P/N 17MNA001 Nanotrak controller
P/N 17MMR001 control chassis
(2) P/N 17MPZ001 piezoelectric controller with feedback
(3) P/N 17MST001 stepper motor controller
Control computer and CRT monitor.
MELLES GRIOT 58-805 est un Masque Aligner conçu pour livrer rapidement des films, des plaquettes masquées et des images sans contact de masques et de plaquettes. Ce Masque Aligner est fabriqué par MELLES GRIOT Corporation et est basé sur leur technologie brevetée. Le dispositif utilise un agencement optique similaire à un microscope pour un alignement plus précis. 58-805 offre deux modes d'exposition distincts pour répondre aux exigences de précision et de processus d'une variété d'applications allant du MEMS et de l'optoélectronique à la recherche sur les matériaux. Il a un long trajet, un à un mode d'exposition à l'image pour la précision de l'enregistrement jusqu'à 0,2 μ m qui permet un enregistrement à faible distorsion. Un mode d'exposition programmable entièrement automatique garantit une plus grande précision d'exposition, un temps d'exposition plus rapide et jusqu'à seize expositions en une seule fois. Ce Masque Aligner utilise des dispositifs d'alignement et des capteurs pour aligner avec précision les plaquettes, les supports de substrat et les masques. La fixation de la plaquette est automatique et le temps d'exécution est rapide. Les mécanismes d'alignement et de focalisation sont actionnés manuellement et ont une précision de 0,2 μ m x/y et 0,1 μ m z. De plus, un équipement d'alignement rapide et un système breveté de désaxage automatique sont des caractéristiques de MELLES GRIOT 58-805. L'unité d'exposition à l'image et au motif du Masque Aligner contient un arc court en mercure et une lampe d'éclairage à arc court au xénon. Le groupe optique contient deux actionnements simultanés de deux lampes et l'outil a deux paramètres d'exposition, un pour chaque lampe. La puissance d'entrée maximale pour les deux lampes est de 175 watts et l'actif dispose également d'un mécanisme de focalisation motorisé manuel et motorisé conçu pour une précision de focalisation de 0,15 μ m. 58-805 Mask Aligner utilise un contrôleur d'écran tactile couleur basé sur PLC et un logiciel pour l'interactivité de l'utilisateur. Les paramètres de traitement de l'exposition, de l'alignement, de la désaxation et de l'analyse post-exposition peuvent tous être saisis dans le contrôleur. En outre, une gamme de capteurs sont attachés à l'aligneur afin de maximiser la précision et de renforcer les processus. Dans l'ensemble, MELLES GRIOT 58-805 est un Masque Aligner puissant et efficace, capable d'aligner rapidement et avec précision les plaquettes et les masques tout en offrant des fonctionnalités excitantes telles que l'enregistrement à faible distorsion, les modes d'exposition programmables automatiques et les systèmes de désaxage. Ce dispositif de pointe est le plus couramment utilisé dans les applications MEMS et optoélectroniques, bien qu'il soit adapté à une variété d'autres applications également.
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