Occasion MIDAS MDA-400LJ #9094346 à vendre en France
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ID: 9094346
Taille de la plaquette: 4"
Mask aligner, 4"
ED UV exposure system
Wedge error compensation
Dual video cameras
Dual video monitor configuration.
MIDAS MDA-400LJ est un aligneur de masque de haute précision spécialement conçu pour l'alignement et l'exposition des masques plats utilisés dans les applications de microfabrication. Le dispositif consiste en un support de substrat qui supporte une ou plusieurs plaques planes de masque, une source lumineuse laser excimère et un système d'entraînement moteur linéaire à 3 axes. La source de lumière laser peut être utilisée pour irradier une plaque de motif choisie avec une dose prédéterminée. Le système moteur linéaire à 3 axes est utilisé pour contrôler précisément la distance entre la plaque de motif et le porte-substrat, assurant ainsi un alignement parfait entre les deux éléments du dispositif. Le porte-substrat est piloté par un codeur optique qui aligne précisément le substrat pour l'exposition. Le codeur mesure la distance entre la plaque de motif et le substrat par rapport à la position de référence, qui est définie comme l'intersection des axes X, Y et Z. Cette information est ensuite utilisée par le dispositif pour régler la position de la plaque de motif, afin d'aligner avec précision le substrat. MDA-400LJ est équipé d'une table X-Y avec une résolution de 0,2 µm, permettant un contrôle précis du mouvement du porte-substrat et le réglage de sa position si nécessaire. De plus, le dispositif offre également un codeur linéaire intégré, qui assure une très grande stabilité de la position du substrat lors de l'exposition. De plus, le dispositif fournit un réticule haute résolution qui réduit l'erreur de pas entre les masques adjacents, assurant un enregistrement de motif ultra fin. Le dispositif est très fiable et est conçu pour fonctionner à plusieurs reprises dans une large gamme de températures. En outre, MIDAS MDA-400LJ est conçu pour être intégré avec des systèmes de chargement automatique de masque, permettant au dispositif de fonctionner en mode continu. L'appareil est également équipé d'une gamme complète de dispositifs de sécurité et peut être alimenté par des sources d'alimentation en courant alternatif ou en courant continu. Dans l'ensemble, MDA-400LJ est un excellent aligneur de masque qui convient à de nombreuses applications de microfabrication. Ses caractéristiques de haute précision et de stabilité, ainsi que ses caractéristiques de sécurité, en font un dispositif idéal pour l'alignement et l'exposition des masques dans le processus de microfabrication.
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