Occasion OAI 200 #9008675 à vendre en France
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OAI 200, également connu sous le nom d'Orion Aligner Mask, est un équipement d'alignement d'image haute résolution utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Ce système est utilisé pour mesurer et aligner les marques sur les plaquettes semi-conductrices. 200 est composé d'une unité d'imagerie optique sans contact. La machine mesure les positions exactes au niveau des pixels des marques de la grille de recouvrement, créées par des diodes laser ou des faisceaux laser. L'OAI 200 utilise des lentilles haute résolution et un étage multi-axes pour contrôler précisément l'orientation et l'enregistrement des images. L'outil est constitué d'une unité de commande d'étage et d'une unité de commande de détection. L'unité de commande de l'étage commande précisément la rotation et l'inclinaison de l'étage à l'orientation et à la position souhaitées pour la capture d'images. L'outil de contrôle de détection utilise des dispositifs électro-optiques pour détecter des images. Il utilise soit la détection de bord, soit la détection de centre de lumière pour capturer et aligner des images. 200 modèles mesurent des images de superposition de 200nm à 800nm et fonctionnent à 1x et 4x vitesse. Il est capable de mesurer des zones complètes de la plaquette en un seul coup. L'équipement peut mesurer des marques sur l'image, ce qui permet de minimiser la surcalibration. Ceci permet des rendements de produit plus élevés. Le logiciel d'analyse d'image utilisé dans le système permet aux utilisateurs de personnaliser leurs propres fonctions de réponse pour la détection de bord, la détection de cercle et le centre de détection de masse. En outre, OAI 200 dispose d'une unité de capture d'images en temps réel qui permet à l'utilisateur de capturer et d'aligner plusieurs images simultanément. La machine peut mesurer et aligner plusieurs zones d'une plaquette en une seule itération. L'outil a plusieurs fonctionnalités avancées telles que l'alignement automatisé pour les piles à plusieurs filières et les substrats multi-baies multicouches. 200 offre également des caractéristiques d'alignement très précises et des résultats d'alignement précis. OAI 200 est idéal pour mesurer la taille des sources de lumière microscopiques, mesurer rapidement les petits pixels sous-dimensionnés et fabriquer des puces de 0,18 microns avec un excellent rendement. L'actif est utilisé dans diverses industries telles que l'aérospatiale, l'automobile, le médical et les semi-conducteurs.
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