Occasion OAI 2000SM #9256685 à vendre en France
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OAI 2000SM est un aligneur de masque très précis, contrôlé par ordinateur, offert par OAI Corporation. L'équipement est spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, et est idéal pour les procédés de modélisation, tels que l'écriture optique, la gravure et le développement de dispositifs avec des tailles de caractéristiques minimales aussi petites que 1µm. 2000SM est un système à moteur d'asservissement à deux axes à haute résolution qui a une précision accrue allant jusqu'à ± 1µm dans les axes X et Y. Il offre également un débit élevé avec un temps de cycle de seulement 1,7 m. L'unité assure une excellente précision de recouvrement, avec une précision d'alignement maximale de 5µm. Il peut également manipuler des substrats épais jusqu'à 280mm d'épaisseur. OAI 2000SM a une architecture de machine très flexible, permettant l'intégration de divers composants périphériques pour répondre aux besoins spécifiques du client. L'outil peut être intégré à divers équipements, tels que des steppers optiques, des systèmes de pulvérisation, des spinners par lots, des systèmes de gravure, des implantateurs d'ions et des fours de diffusion. L'actif est construit avec un socle rigide en aluminium, ce qui permet une planéité et une précision inégalées. Il dispose également d'une fonction de balayage à plat qui permet de scanner des motifs pour une configuration rapide et un réalignement de l'outil. Ceci réduit le temps d'alignement du masque sur le substrat, ce qui permet un temps de réponse plus rapide. 2000SM est un aligneur très fiable qui répond aux normes strictes de sécurité et de répétabilité fixées pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé de dispositifs de sécurité sur toutes les portes et tous les composants, et il est conforme aux normes ESD (décharge électrostatique). Il dispose également d'un modèle d'alarme qui peut être réglé pour alerter l'opérateur en cas d'urgence, assurant ainsi des opérations fiables. L'alignement de masque OAI 2000SM est une solution idéale pour la fixation de haute précision des dispositifs semi-conducteurs. Avec une précision d'alignement précise, une architecture d'équipement avancée et des normes de sécurité et de performance robustes, le système est bien adapté aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs.
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