Occasion OAI 804 TSA #9311625 à vendre en France

OAI 804 TSA est un aligneur de masque qui a été développé par OAI (Opto-Automated Imaging) pour le processus de lithographie industrielle. C'est un instrument très précis utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, qui est chargé de placer avec précision un motif de photomasques sur une plaquette de semi-conducteur. Elle est particulièrement utile pour transférer sur la plaquette des motifs de petites caractéristiques, telles que celles nécessaires à la réalisation d'un circuit intégré. 804 TSA se compose de trois parties : le système optique, le microstepper et le détecteur. Le système optique est responsable de la réception de la lumière réfléchie à partir du photomasque utilisé pour la conception ; il divise également la lumière incidente en deux composantes : linéaire et angulaire. La composante angulaire est utilisée pour mesurer la position de la plaquette par rapport au photomasque. Le composant linéaire est chargé de focaliser la lumière sur le détecteur, qui est utilisé pour mesurer les distances et les angles entre les caractéristiques sur le photomasque et celles sur la plaquette. La précision de l'OAI 804 TSA est obtenue en utilisant un microstepper pour déplacer la plaquette dans la position précise et prédéterminée. Le microstepper est chargé de contrôler le mouvement de la plaquette avec une précision sous-nanométrique. Cela permet de transférer avec précision des fichiers CAO sur la plaquette, qui peut ensuite être utilisée dans la production de puces semi-conductrices. 804 TSA est équipé d'un détecteur qui permet l'alignement des images lors de multiples expositions. Ce détecteur est utilisé pour l'alignement statique et dynamique. L'alignement statique utilise des lasers pour aligner rapidement les expositions uniques ; tandis que l'alignement dynamique utilise le système d'imagerie vidéo pour surveiller la position du masque en temps réel et s'assurer que les expositions multiples sont alignées avec précision sur la plaquette. Dans l'ensemble, OAI 804 TSA est un outil essentiel pour la lithographie industrielle, qui est nécessaire pour transférer avec précision les conceptions sur la plaquette semi-conductrice. Son microstepping et son détecteur précis permettent de transférer des images très précises, garantissant le plus haut niveau de précision de fabrication.