Occasion OAI J500 / VIS #293741977 à vendre en France

Fabricant
OAI
Modèle
J500 / VIS
ID: 293741977
Mask aligner Illuminator: 310 nm Mirror and illumination No visible illuminator.
OAI J500/VIS est un aligneur de masque ultra-précis conçu spécifiquement pour des applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Cette machine utilise un équipement d'alignement de plaquettes optiques (OAI) qui fonctionne en conjonction avec des étages de plaquettes précis et un mécanisme de contrôle de focalisation unique. L'OAI du système utilise deux faisceaux de diodes laser, qui balayent un motif précis à travers la surface d'une plaquette afin de déterminer son centre et son orientation. Une fois exactement positionnée, une série de lentilles optiques réglables permet une focalisation précise sur la surface de la plaquette. Ceci est crucial pour un alignement précis et cohérent de chaque couche sur les couches suivantes, car les imprécisions au foyer peuvent créer des erreurs de désalignement. Cette précision d'enregistrement des plaquettes est inférieure à 0,2 μ m. L'unité utilise un étage de plaquette à 5 axes pour fournir un étage d'inclinaison vertical et 2 axes précis afin de satisfaire aux exigences d'alignement les plus strictes. Ensemble, ces systèmes permettent une erreur d'enregistrement des plaquettes de 0,1 μ m dans le plan XY, et de 0,05 μ m dans le plan θ z. L'alignement de masque J500/VIS offre aux utilisateurs la plate-forme idéale pour produire des composants électroniques avec un haut niveau de précision et de personnalisation. Avec sa machine OAI extrêmement précise, une variété de mécanismes de contrôle de focalisation, et son outil avancé à 5 axes, OAI J500/VIS est très fiable et capable d'exécuter des tâches avec un haut degré de précision. La machine peut également être équipée de fonctionnalités d'automatisation avancées pour réduire le temps d'installation et maximiser l'efficacité. Avec ses performances impressionnantes, J500/VIS est bien adapté pour la photolithographie critique et les tâches de traitement des plaquettes.
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