Occasion ORIEL 8097 #9096377 à vendre en France

ORIEL 8097 est un pas de masque Aligner-Prober utilisé dans les processus de fabrication d'appareils. Il est utilisé pour transférer un motif de photorésist atteint d'un réticule sur un substrat de silicium pour un alignement précis et un dépôt contrôlé. Le masque aligneur dispose d'un équipement d'échange de réticules de 42 mm automatisé pour un chargement plus rapide, favorisant des processus de production efficaces. 8097 a un champ de vision standard (FOV) de 8x8 pouces, accompagné d'un système d'index automatisé pour le contrôle complet du champ pendant le processus d'alignement. De plus, ses capacités de contrôle de mouvement XY, associées à d'autres options de configuration telles que la focalisation automatique, l'alignement arrière et une option d'alignement die-to-die, offrent des scénarios d'alignement flexibles. L'aligneur plein champ dispose également d'une unité de vision pour un alignement précis grâce à un processeur d'imagerie 20 bits étendu et une caméra TV Spot CCD haute résolution de 0,74 µm avec une technologie d'obturation globale. ORIEL 8097 est disponible avec plusieurs modes d'alignement, y compris l'appariement de masque pixel, le champ lumineux, les superpositions de plaquettes edgescan, la détection de motifs et l'inspection en temps réel. En outre, son réticule dispose d'un mécanisme autofocus avec contrôle de précision grâce à des réglages de coordonnées manuels et algorithmiques. En outre, il est équipé d'une variété d'actionneurs linéaires et segmentés pour le parallélisme de précision et la planéité en alignement de substrat ou de masque. 8097 est alimenté par une machine d'exploitation en temps réel Linux et une interface homme-machine (HMI) pour un fonctionnement efficace. Il a une résolution d'étape de 0,5-1,0 µm, un champ d'écriture maximum de 4 pouces, et une précision d'étape de 8,0 µm (3-Sigma). L'ensemble de l'outil fonctionne dans un environnement de cassette de plaquettes, capable de recevoir des plaquettes de 8 à 200 mm, ainsi que des réticules jusqu'à 42 mm dans le magasin de réticules. Son interface utilisateur graphique (GUI) permet une configuration facile du programme et un contrôle automatisé des étapes. De plus, ORIEL 8097 est livré avec une station intégrée de désembuage plasma à vide élevé (HV) pour le nettoyage post-processus et une station d'halo-réduction sous vide pour minimiser la concentration de particules. De plus, il comprend un mandrin de serrage chauffant pour minimiser les effets de contraintes thermiques sur le substrat, une lampe à induction UV pour l'exposition à la source de lumière UV, et un actif de toit-élévateur intégré avec une précision de ± 100 µm pour contrôler la distance entre le masque et la plaquette pour une précision de sous-micron. En conclusion, 8097 est un aligneur de masque conçu avec précision, fiabilité et évolutivité à l'esprit. C'est un choix idéal pour le dépôt de résine photosensible sur des substrats avec précision et rapidité. Ce stepper est conçu pour offrir une durée de vie maximale de trois ans, ce qui garantit un retour sur investissement élevé et une production efficace.