Occasion PERKIN ELMER 600 series HT #195230 à vendre en France

PERKIN ELMER série 600 HT est un équipement avancé d'alignement de masque équipé d'un régulateur de mouvement moteur pas à pas de haute précision qui lui permet d'aligner avec précision des masques délicats sur des substrats pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système comprend un porte-substrat chauffé, un étage thêta pour une orientation angulaire précise, et un étage de translation x-y capable à la fois d'opérations de pas et de répétition et de mouvements continus. L'unité est optimisée pour le contrôle des processus photolithographiques, avec des capacités pour le contrôle avancé de l'exposition, la rétroaction d'alignement pour l'alignement des pas d'agrandissement dix fois, et l'imagerie sur l'axe pour une meilleure précision de focalisation. Pour aligner efficacement les masques délicats, la série 600 HT utilise un algorithme d'alignement heuristique entièrement programmable qui optimise automatiquement les expositions en fonction des configurations variables des plaquettes et des masques. Cet algorithme assure que les couches actives du masque sont toujours bien focalisées sur la plaquette, évitant un désalignement causé par les différences de hauteur de la pile de plaquettes. En outre, la machine permet une période de « séjour » entre les expositions, ce qui contribue à réduire la mauvaise enregistrement du masque et à améliorer la répétabilité du processus. PERKIN ELMER série 600 HT dispose également d'un outil avancé d'imagerie au microscope optique avec imagerie sur axe qui fournit une amélioration significative de la précision de focalisation sur les systèmes hors axe. Cela permet à l'actif d'identifier avec précision et de se concentrer sur les marques d'alignement critiques sur les couches près de la surface du masque ou du substrat, ce qui rend ce modèle idéal pour la fabrication de fabs nécessitant un contrôle de focalisation serré. La série 600 HT est également équipée d'une taille de plaquette sélectionnable par l'utilisateur, ce qui permet à un opérateur de sélectionner facilement la taille de plaquette souhaitée lors de l'installation. Ce temps de mise en place réduit associé à l'optimisation automatique de l'exposition permet un alignement rapide et une répétabilité de focalisation entre les expositions. L'équipement offre également un sous-système de refroidissement à air avancé qui permet un débit plus élevé tout en évitant les dommages typiques du refroidissement à l'eau. Le système peut être réglé pour assurer le refroidissement juste avant l'exposition de chaque couche, ce qui permet des plaquettes plus fraîches et des temps d'exposition plus courts. En résumé, PERKIN ELMER série 600 HT est une unité avancée d'alignement de masque optimisée pour le contrôle de processus de photolithographie. Cette machine dispose d'un algorithme d'alignement heuristique programmable par l'utilisateur pour aligner avec précision les masques délicats, d'un outil avancé d'imagerie sur l'axe pour une meilleure précision de focalisation, d'un refroidissement à air pour réduire les dégâts et augmenter le débit, et d'une taille de plaquette sélectionnable par l'utilisateur pour une configuration facile et un alignement rapide.