Occasion PERKIN ELMER 600 series #9056496 à vendre en France
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L'aligneur de masque de la série PERKIN ELMER 600 est un équipement de fabrication de semi-conducteurs largement utilisé pour la photolithographie. Cet équipement expose uniformément la résine photosensible sur la plaquette ou le substrat en utilisant la projection optique d'une image de masque. Le processus d'alignement se fait avec une grande précision à l'aide du moteur pas à pas commandé par ordinateur de l'aligneur. Ce dispositif est conçu pour la production de plaquettes et de puces mesurant jusqu'à 6 pouces de diamètre. Il dispose d'un système de positionnement à 5 axes qui peut exactement aligner et structurer le motif sur la plaquette dans les 0,1 micromètre de précision. L'unité comprend quatre composantes principales : la scène, le moteur pas à pas, la lampe et le contrôleur. L'étage est utilisé pour déplacer et positionner le substrat ou la plaquette sur lequel est imprimé l'agencement d'imagerie. A l'aide d'un moteur pas à pas, l'étage est capable de tourner avec précision et de fléchir le substrat selon trois axes afin d'aligner correctement l'agencement optique sur le substrat. La lampe utilisée pour le processus d'alignement est une lampe UV de haute intensité qui fournit une énergie suffisante pour exposer suffisamment la couche de résine photosensible. Le contrôleur est le composant logiciel qui dirige l'appareil en alimentant le moteur pas à pas et en contrôlant d'autres opérations, telles que le temps d'exposition, la vitesse d'obturation et la focalisation. L'interface utilisateur de la machine PERKIN ELMER permet à l'utilisateur de régler rapidement et facilement les paramètres d'alignement. Il dispose également d'outils communs de correction de motifs tels que l'amplification, le contrôle de distorsion et la correction de décalage rotationnel. De plus, les commandes de l'outil permettent à l'utilisateur d'accéder à une large gamme de paramètres de puissance, d'intensité et de cyclisme pour chaque travail. PERKIN ELMER offre des performances de haute qualité qui sont essentielles dans la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit une exposition uniforme qui permet un transfert précis des motifs. Le modèle comprend également des dispositifs de sécurité intégrés, comme le contrôle de la pression d'alignement, l'évitement du suréclairage et la prévision de la défaillance de la source. De plus, un entretien régulier est recommandé pour les aligneurs de masques afin d'assurer un processus d'alignement précis pour chaque travail. Au total, l'alignement de masque série 600 est un équipement essentiel pour l'alignement de haute précision de la photolithographie utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs.
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