Occasion QUINTEL Q4000 Super Nova #9236254 à vendre en France
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ID: 9236254
Style Vintage: 2003
Exposure machine
Objective lens needs to be replaced
Controller missing
2003 vintage.
QUINTEL Q4000 Super Nova est un aligneur de masque qui est utilisé en photolithographie de précision pour créer des matériaux structurés à l'aide d'une source d'exposition UV extrême. C'est un outil avancé dans le domaine de la lithographie semi-conductrice, offrant une résolution et un débit élevés à l'échelle du nanomètre. Le Q4000 utilise un équipement de projection à haute résolution pour obtenir des résultats précis. Ce système optique est composé d'un groupe optique basse fréquence, et d'un groupe optique haute fréquence. Le groupe basse fréquence comprend les lentilles longues focales utilisées pour la focalisation optique initiale du faisceau. Les éléments primaires du groupe optique haute fréquence sont le zoom avec ouverture, les doublets tourillonnés avec ouverture et un réflecteur volumique, ainsi qu'une série de chambres et de composants filtrants. Ceci permet un réglage précis des propriétés d'imagerie de l'unité, sans mouvement mécanique. La source d'éclairage du Q4000 est un laser de moyenne puissance. Ce laser se spécialise dans la gestion efficace des impulsions laser et la rugosité de bord de ligne basse (LER), ce qui donne des performances d'imagerie supérieures. La machine de contrôle de l'éclairage assure une précision uniforme de la distribution de l'exposition sur la plaquette tout en contrôlant la dose d'exposition. La dose d'exposition est surveillée et ajustée par l'outil d'alignement. Cet actif comprend une procédure d'alignement automatisé pour aligner un masque ou réticule sur une plaquette ou un substrat. Il est capable de mesurer l'enregistrement des spécimens, de réduire tout désalignement et de localiser diverses caractéristiques qui peuvent être utilisées pour la correction. Le modèle comprend également un moniteur d'énergie d'alignement, qui utilise l'énergie du faisceau laser pour détecter tout changement dans la précision d'alignement et les corrections qui pourraient être nécessaires. L'équipement de contrôle de l' Q4000 fournit un contrôle de fixation entièrement intégré. Avec l'édition de motifs haute résolution, le dépolissage des données et le logiciel d'édition automatique à haut débit, l'éditeur de motifs permet de programmer des géométries de masque et de plaquettes avec des motifs synthétiques, de tableau de pixels et de monde réel stockés. Cela garantit la précision des motifs transférés avec des bords propres et des transitions vives. Le Q4000 permet un contrôle serré des processus et fournit une haute précision pour le tissage dans l'industrie de la fabrication de puces. Sa haute résolution, son débit et son système de contrôle des faisceaux d'énergie contribuent tous à son utilisation réussie dans l'industrie. Il offre des performances de façonnage supérieures pour la création de composants électroniques, notamment dans le domaine des puces nanométriques.
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