Occasion RORZE RA410-812-101-1 #9384821 à vendre en France
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RORZE RA410-812-101-1 est un aligneur de masque conçu pour graver des motifs et des structures précis sur des plaquettes semi-conductrices. Il utilise la lumière, généralement ultraviolette (UV), pour transférer un motif d'un photomasque sur la plaquette dans un processus appelé photolithographie. Le faisceau en RA410-812-101-1 est composé d'un rayonnement ultraviolet, généralement de longueur d'onde comprise entre 365 et 405 nanomètres. Typiquement, l'alignement de masque contient deux étages de plaquettes. Le premier est l'étage de transfert, qui déplace avec précision le masque et la plaquette au moyen de codeurs de positionnement. La seconde est l'étape d'exposition, qui comprend la source lumineuse, le porte-masque, un équipement de collimation de la lumière et le système de projection optique. Le porte-masque tient le photomasque, qui est un verre dichroïque contenant un motif gravé en chrome. L'unité de projection optique utilise une combinaison de lentilles et de miroirs pour projeter le motif de masque sur la surface de la plaquette. RORZE RA410-812-101-1 est également équipé d'une unité de commande avec écran tactile LCD fournissant des informations sur les paramètres en temps réel, tels que la dérive thermique, l'alignement des étages et l'alignement des faisceaux. Cette unité de commande comporte également une station de mesure. Cette station contient des codeurs de mesure précis pour détecter et compenser toute distorsion du masque et de la plaquette lors du mouvement. RA410-812-101-1 contient également un régulateur de température de précision. Ceci est important, car il permet de s'assurer que la plaquette ne subit pas de dilatation thermique pendant l'exposition, car cela peut provoquer une distorsion du motif et endommager la plaquette. L'outil de régulation de température peut maintenir la température de la plaquette à ± 0,2 ° C Les RA410-812-101-1can réduisent le temps d'exposition, minimisent le temps de montage et montrent une distorsion des bords, une obscuration et un dimensionnement critique dans les tolérances du masque avec un débit, une répétabilité et une précision élevés. Dans l'ensemble, l'aligneur de masque RORZE RA410-812-101-1 est une machine fiable et précise pour graver des motifs sur des plaquettes semi-conductrices. Sa conception garantit que les masques et les plaquettes se déplacent avec précision, les motifs sont projetés avec précision et la température est maintenue constante. En définitive, cet alignement de masque apporte la précision nécessaire à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés.
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