Occasion SVG Micralign 600HT #9400549 à vendre en France

SVG Micralign 600HT est un aligneur de masque de pointe conçu pour les processus de photolithographie. Il est idéal pour couvrir une large gamme d'applications allant des tailles de caractéristiques minimales aussi petites que 1,2 μ m à 200 μ m dans les alignements de pas et de répétition et de plein champ. L'alignement du masque se compose d'une chambre de procédé, où le masque est maintenu, et d'un étage de plaquette, où les plaquettes sont placées pour l'exposition. L'alignement est réalisé à l'aide d'un interféromètre laser qui détecte la topographie d'une plaquette pour ajuster finement la position du masque et de la plaquette afin qu'ils soient parfaitement alignés. Micralign 600HT permet aux utilisateurs de choisir parmi une large gamme de sources d'éclairage et de grossissements produisant des caractéristiques de sub-micron. Non seulement cela, mais SVG Micralign 600HT utilise également la technologie Chuck Impulse qui élimine les dommages au masque de fluide et permet le débit jusqu'à 16,6 wafers par heure. De plus, la machine utilise un étage de 200mm au lieu d'un étage de 150mm, de sorte qu'elle peut accueillir plus de plaquettes et améliorer encore le débit. L'outil est équipé d'un équipement propriétaire VariThermal Process Control (VPTC), qui assure que le masque et la plaquette restent aux températures appropriées pendant le traitement et l'alignement. Ce système dispose d'un contrôle dynamique de la température pour une compensation optimale de la température des plaquettes et des masques. Avec cette unité, les réglages de processus peuvent être ajustés rapidement et facilement pour tenir compte de divers environnements et différents matériaux de masque. De plus, Micralign 600HT garantit une résolution extrêmement élevée, avec une précision d'alignement de 33nm et une erreur de chaîne inférieure à 1um. Cela en fait un outil idéal pour les technologies IC et BIOS avancées. Enfin, la machine est couplée à une machine logicielle très conviviale qui rend le fonctionnement et la maintenance simples et faciles, réduisant les temps d'arrêt et augmentant le rendement des puces.