Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 300 #40530 à vendre en France
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 300 est un aligneur de masque qui permet un contrôle précis des motifs de substrat avec la précision d'alignement requise pour les procédés de fabrication microstructuraux. Cette machine a un grand champ de commande de 352 mm (13,86 po), et son étage peut être déplacé avec précision dans les directions x, y et thêta. Grâce à ses capteurs de repères d'alignement intégrés, les utilisateurs peuvent facilement détecter des marqueurs dans le substrat permettant un alignement précis et des répétitions d'alignement sur plusieurs substrats. SVG 300 dispose également d'un équipement de projection numérique pour les processus de microfabrication. Ce système a une résolution allant jusqu'à 0,25 μ m, ce qui permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la configuration des substrats pour les applications à l'échelle de sous-microns. L'unité de projection numérique est composée d'optiques numériques et de composants d'imagerie à très faible distorsion qui offrent une qualité d'image supérieure, une imagerie haute résolution, une égalisation numérique et des fonctionnalités de correction de lentilles contrôlées par le logiciel. Le masque aligneur dispose également d'un éclairage numérique, qui fournit un contrôle précis de l'éclairage qui peut être ajusté pour différents types de substrat. De plus, le masque aligneur est équipé d'un tube de projection avancé qui permet aux utilisateurs de traiter de petits motifs (jusqu'à 0,1 μ m) avec une grande précision. L'ASML 300 dispose également d'une cassette de substrat intégrée qui permet aux utilisateurs de transférer les substrats vers et depuis l'aligneur rapidement et facilement. Grâce à la station de lithographie intégrée, les utilisateurs peuvent traiter rapidement leurs substrats avec une homogénéité supérieure et une précision de résolution élevée. Pour assurer la sécurité de fonctionnement de PERKIN ELMER 300, l'outil est équipé de mesures de sécurité avancées telles qu'une enceinte à gaz inerte, des capteurs de pression et une couverture de sécurité automatique afin de protéger l'optique contre les dommages externes et de détecter les gaz susceptibles de causer des dommages aux composants de l'actif. En résumé, 300 est un puissant aligneur de masque qui fournit une modélisation contrôlée des substrats avec son grand champ de contrôle et son modèle de projection numérique. Il comprend également un éclairage numérique, un tube de projection avancé, un équipement intégré de cassette de substrat, un poste de lithographie et des mesures de sécurité qui lui permettent de gérer en toute sécurité les processus de fabrication microstructuraux avec une précision et une homogénéité supérieures.
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