Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #5943 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT est un aligneur de masque de pointe utilisé pour la lithographie optique. Il est capable de fabriquer des dispositifs microélectroniques denses et complexes jusqu'à trois microns d'épaisseur avec un haut niveau de précision et d'alignement. La machine offre le plus haut niveau de précision, fournissant des résultats exceptionnels pour des applications exigeantes. L'alignement de masque SVG 340HT se compose de deux composants principaux : une étape de positionnement du masque et du substrat, et un système d'optique de projection. L'étage offre cinq directions de mouvement et une résolution X-Y de 0,5 microns. Il est équipé d'un lecteur motorisé et de codeurs de mouvement pour détecter les erreurs de mouvement, tandis qu'un mandrin à vide maintient la planche et le masque en place. Le système d'optique de projection dispose d'une lentille de projection UV améliorée qui contient un réseau de diffraction elliptique de précision. Cela garantit une imagerie supérieure et une précision d'alignement supérieure. L'alignement du masque et du substrat est obtenu par la technologie d'alignement à la volée de l'ASML 340HT. La machine localise les repères d'alignement sur le substrat et calcule les positions relatives du masque, puis les aligne. Cela permet d'aligner les masques complexes en moins d'étapes et d'améliorer la précision de l'alignement. 340HT est très polyvalent, car il est compatible avec divers substrats, tels que le quartz et le silicium. Il supporte un large éventail de sources d'éclairage, allant des UV standard aux UV extrêmes (EUV). Il est également capable d'exposer et d'imager divers motifs, y compris 0,25, 0,45 et 0,65 microns caractéristiques tailles. La machine est équipée d'outils automatisés de performance et de vérification des caractéristiques qui fournissent des retours en temps réel sur la précision d'alignement et la vitesse d'exposition. Il dispose également d'une caméra haute résolution qui affiche le motif traité, permettant une évaluation instantanée des défauts éventuels. En bref, PERKIN ELMER 340HT est un adaptateur de masque puissant et précis conçu pour des applications de micro-lithographie de précision. Très polyvalent et capable d'auto-aligner différents masques, il est la solution idéale pour les applications nécessitant des niveaux élevés de précision, de résolution et d'alignement.