Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #65071 à vendre en France
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ID: 65071
Taille de la plaquette: 4"
Aligner
System can be modified to any configuration.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT Mask Aligner est un équipement polyvalent de masquage et de lithographie pour la fabrication de semi-conducteurs. Il combine la précision d'exposition nécessaire avec une conception solide et fiable du matériel, assurant des rendements élevés dans le traitement de la lithographie. Le système utilise une matrice de grille de haute qualité ainsi que son processus unique d'exposition au film pour fournir une précision de lithographie critique de 8nm à 0,5um exposition. L'unité comprend un contrôleur complet qui est capable de contrôler plusieurs outils avec une seule interface utilisateur. Cela permet une production plus efficace et des résultats plus précis. Les capacités d'exposition uniques de la machine comprennent la lithographie Deep UV (DUV), l'exposition avancée au faisceau d'électrons, et le contrôle avancé de l'exposition avec l'utilisation de son contrôleur d'exposition avancé. Cela garantit une plus grande précision en ce qui concerne les motifs et les caractéristiques qui nécessitent une résolution précise. L'outil dispose également d'une précision d'exposition accrue, grâce à sa technologie d'éclairage uniforme. Cela aide dans une variété de processus de lithographie, comme la superposition critique, l'espaceur critique, l'enregistrement critique, et la rugosité des bords critiques, ainsi que des applications spécialisées comme le trou de contact et la lithographie de fixation. L'actif est également conçu pour être extrêmement fiable et intègre une gamme de fonctionnalités telles qu'aucune alarme de mouvement verticale, alarme de mouvement à basse vitesse, et réglage dynamique de la focalisation. En outre, le modèle comprend un pas de précision intégré, permettant un pas précis et le tracé de grandes surfaces avec le moins de courses. En outre, SVG 340HT Mask Aligner est conçu pour la flexibilité, et est compatible pour une utilisation avec une variété de substrats différents et de matériaux de résistance. L'équipement fournit également un séquençage automatisé des processus d'alignement répétitif et peut être configuré pour différents systèmes de traitement des lots de petits à moyens substrats. En outre, ASML 340HT Mask Aligner comprend une gamme d'options CR et DR très sophistiquées, qui offre les dernières fonctionnalités en matière d'automatisation, d'amélioration du traitement des données et de contrôle des processus. Le système dispose également d'un ensemble complet de diagnostics, y compris des tests pour aucun téléchargement, et l'enregistrement complet de la numérisation et de l'exposition. Dans l'ensemble, PERKIN ELMER 340HT Mask Aligner est une unité de pointe, sophistiquée et polyvalente pour la production de semi-conducteurs. Combinant une résolution précise et une précision d'exposition exacte, ainsi que des composants de fiabilité supérieure, 340HT est un choix idéal pour l'optimisation du débit et du rendement.
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