Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 500 series #84336 à vendre en France

Les séries SVG/PERKIN ELMER/ASML 500 sont des aligneurs de masque de haute précision utilisés pour des applications lithographiques dans l'emballage de semi-conducteurs et la fabrication de dispositifs microélectroniques. Les aligneurs sont capables de contrôler l'exposition de photorésist et d'autres matériaux avec une très grande précision, pour faciliter le transfert des caractéristiques souhaitées dans des substrats préparés. Ces machines de photolithographie sont équipées d'une variété de caractéristiques spécialement conçues pour assurer la précision à chaque exposition. Un équipement automatisé de chargement/déchargement de plaquettes assure que les plaquettes sont alignées et chargées/déchargées rapidement et en toute sécurité. Pour assurer la précision, chaque emplacement de plaquettes est vérifié, et une bibliothèque numérique de mouvements de plaquettes est maintenue pour éviter les erreurs. Un système d'alignement des plaquettes balaie et vérifie la position de chaque plaquette, puis de la source lumineuse d'exposition, pour garantir le schéma d'exposition souhaité. En outre, une unité de surveillance de la durée de vie contrôlée par ordinateur surveille les performances de la machine et informe l'utilisateur de tout changement nécessaire pour rester optimalement efficace. Afin d'obtenir le meilleur résultat possible à partir des aligneurs de la série SVG 500, divers paramètres doivent être contrôlés, tels que la position de la source lumineuse d'exposition par rapport à la plaquette, le temps d'exposition et les lentilles utilisées pour maximiser la résolution. La longueur d'onde d'exposition est également réglable, avec une variété de longueurs d'onde disponibles dont 248nm, 193nm et 365nm. En outre, des filtres optiques peuvent être utilisés pour régler l'intensité de la lumière émise par la source lumineuse. La machine d'exposition peut être ajustée pour tenir compte de l'effet de la réflectance de surface sur le profil d'exposition. Pour ce faire, une fibre optique facultative fixée à un outil de projection est utilisée pour éclairer les réflexions sur la surface du matériau, ce qui permet d'éviter les alignements incorrects et d'améliorer la précision de l'exposition. Les aligneurs de la série ASML 500 disposent d'interfaces utilisateur faciles à utiliser et puissantes, permettant une configuration et une programmation rapides de la machine pour chaque utilisation. Les utilisateurs sont également en mesure de personnaliser rapidement les paramètres de la machine pour répondre au mieux à leurs besoins d'application. Pour optimiser les performances de l'aligneur de masque, plusieurs diagnostics de processus sont fournis par l'actif, tels que le point d'extrémité et le contrôle de position de l'actionneur, ainsi qu'une analyse du profil thermique de la plaquette. De plus, le modèle assure la traçabilité du processus, ce qui permet de détecter toute erreur pouvant survenir au cours du processus d'exposition. En conclusion, 500 aligneurs de masque de série fournissent la précision, la vitesse et les fonctionnalités conviviales nécessaires pour fournir des expositions précises et cohérentes à chaque utilisation.