Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 551 HT #9165929 à vendre en France
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 551 HT Mask Aligner est un équipement de lithographie automatisé et de niveau wafer de pointe conçu pour la mise en forme et l'alignement des circuits sur les wafers. Il offre des capacités d'exposition précises et précises, permettant des fonctionnalités avec une précision inférieure à 100nm. Il a une taille plus petite et un coût plus faible que les systèmes de lithographie comparables, ce qui en fait un excellent choix pour la production de puces à haut volume. Le système utilise la cartographie des interférences pour aligner les motifs de masque précisément sur un substrat, et peut accueillir des substrats jusqu'à 6 pouces de diamètre. Il est composé d'une source lumineuse, d'une lentille, d'un rotor fendu tenant les masques et d'un détecteur d'alignement. Le Masque Aligner est capable d'imiter des plaquettes avec un diagramme de ligne/espace minimum de 0.5um, une surface minimale de 0.2um x 0.2um, et une précision de répétition d'exposition de 0.1um. La machine fonctionne à l'aide d'un moteur de haute précision, qui fournit un contrôle de mouvement précis et précis. Il est composé d'un codeur linéaire à haute résolution, qui permet de mesurer avec précision les calculs optiques utilisés en lithographie. L'unité peut également accueillir des plaquettes de 100mm et 150mm. Il est équipé d'un mécanisme de réglage fin, ce qui facilite l'alignement des motifs du masque avec le substrat. La machine est équipée d'un modèle automatisé et d'une fonction de programmation des images clés qui peut stocker jusqu'à 20 touches, permettant aux utilisateurs de rappeler les modèles rapidement et avec précision. SVG 551 HT Mask Aligner comprend un certain nombre de fonctions de contrôle avancées, y compris un écran LCD 3,5 "qui permet à l'utilisateur d'ajuster facilement les paramètres d'alignement. De plus, l'outil dispose d'une fonction d'auto-étalonnage intégrée, qui élimine le besoin de corrections manuelles avant chaque exposition. En outre, l'actif comprend un progiciel complet qui comprend une interface graphique conviviale. Cela permet à l'utilisateur de faire rapidement et intuitivement les ajustements nécessaires au modèle. Le logiciel peut également être utilisé pour stocker des paramètres programmables, en éliminant la reprogrammation manuelle des masques pour les opérations ultérieures et en permettant la récupération rapide des motifs stockés. Dans l'ensemble, ASML 551 HT Mask Aligner est un choix idéal pour un large éventail de besoins en lithographie. Il offre des capacités d'exposition précises et répétables pour la production de puces à haut volume, ainsi qu'une variété de fonctionnalités avancées telles que l'alignement automatisé et l'étalonnage.
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