Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT #9198310 à vendre en France

SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT
ID: 9198310
Taille de la plaquette: 5"
Mask aligner, 5" Process: Litho.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HT est un aligneur de masque conçu pour la fabrication de photomasques de haute précision. Développé dans le cadre de l'extension des systèmes d'exposition existants de la série SVG 641, le SVG 641 HT est spécialement conçu pour les applications exigeantes de fabrication de masques de précision photoniques et semi-conducteurs. L'alignement de masque ASML 641 HT dispose d'un testeur intégré, de capacités de mesure de vecteurs delta avant et après alignement, d'un étalonnage sur plateau, d'une table d'alignement automatique et d'un illuminateur laser de 500 watts pour une précision exceptionnelle dans le placement et l'alignement des photomasques jusqu'à 6 "de taille. Dans le cadre de l'ensemble complet de fabrication de masques de précision, la version HT de la 641 est fournie avec un équipement d'exposition fiable et précis. L'alignement du masque permet un ajustement fin des paramètres d'exposition tels que la dose, la vitesse et la focalisation, et permet une programmation semi-automatisée et/ou manuelle des cartes ou des plaquettes pour l'alignement des photomasques pour la fabrication de photomasques de précision multidimensionnels complexes. La version HT de la série ASML 641 permet de réaliser un masque de précision à un nouveau niveau avec un système d'alignement très fiable, efficace et répétable. L'unité comprend une technologie de pointe et des caractéristiques qui permettent une plus grande précision dans l'alignement, y compris un moteur linéaire qui est capable de déplacer rapidement un étage de masque jusqu'à ± 30 millisecondes. Ces moteurs permettent également à la machine de se réétalonner automatiquement après tout mouvement non linéaire. L'outil dispose d'une boucle de rétroaction à neuf axes, pré-alignée et post-alignée, ainsi que d'un outil de surveillance sur le terrain XY qui minimise les vibrations et réduit la dérive thermique assurant la précision de l'alignement en tout temps. Le modèle HT comprend également des capacités de manutention des réticules et des bandes entièrement intégrées pour l'alignement des réticules et des plaquettes. Le modèle peut accueillir des réticules multi-grille en utilisant l'enregistrement des bords pour jusqu'à quatre grilles différentes et peut accueillir les réticules les plus complexes utilisés pour la fabrication de photomasques de pointe. En outre, l'équipement est également capable de traiter des chargeurs de ruban à haut volume pour permettre l'adaptation du masque à la plaquette. PERKIN ELMER 641 HT est un adaptateur de masque polyvalent, avancé, convivial et extrêmement précis conçu pour les besoins les plus exigeants de fabrication de photomasques. Grâce à sa technologie de pointe et à ses caractéristiques, le modèle HT est capable de produire des photomasques de la plus haute précision avec des délais d'exécution très courts pour répondre aux exigences des industries de l'EMS, de la photonique et des semi-conducteurs.
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