Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259118 à vendre en France
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT Mask Aligner est un outil avancé de prototypage rapide utilisé dans la fabrication de masques et l'assemblage de lithographie d'alignement optique. Un aligneur de masque est un outil d'écriture directe de type scan utilisé dans les semi-conducteurs de niveau de production et les industries connexes pour modifier des dispositifs à couches minces tels que des photorésistances, des réseaux de transistors à couches minces (TFT) et des condensateurs. SVG 651HT est conçu pour le traitement Submicron et peut effectuer avec précision à la fois planarisation/alignement géométrique et alignement dérive et compensations de page de guerre. ASML 651 HT Mask Aligner est composé de quatre sous-systèmes principaux ; l'équipement optique, le système de balayage, l'unité d'alignement et la machine de projection/lithographie. L'outil optique se compose d'un objectif zoomé exquis (focalisant de 0,150 mm à 0,34 mm) et d'un ensemble de quatre miroirs motorisés pour le balayage et la projection de haute précision. L'actif de balayage est basé sur un miroir pas à pas Piezo ainsi qu'un miroir rotatif pour l'alignement tridimensionnel et fournit le champ d'image de la taille requise avec des angles de déflexion jusqu'à 90 °. Le modèle d'alignement utilise une étape de centrage automatique de haute précision avec réglage manuel et un moteur pas à pas pour un alignement rapide et précis. L'équipement de projection/lithographie de SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HT est composé d'un illuminateur actif conçu pour un éclairage de 700nm à 830 nm et d'un atténuateur/lisse qui maintient l'uniformité de l'intensité lumineuse et son homogénéité. Le système de micro-lithographie est également capable d'alignement angulaire et d'angles de champ jusqu'à 350 microns. Elle est compacte et ne prend que 80x80 cm d'espace. ASML 651HT est facile à installer et peut être connecté à différents environnements de processus pour l'automatisation. L'outil est livré avec son propre PC intégré et exécute un logiciel basé sur Windows pour contrôler l'alignement du projecteur/masque. Son interface utilisateur graphique complète (UI) rend l'installation et le fonctionnement de l'outil une brise. 651HT est équipé d'une variété de fonctionnalités avancées telles que le balayage d'octogone multi-champs, la longueur de recul, la routine d'alignement rapide, l'optimisation des processus et la correction automatique de la position du faisceau. En conclusion, SVG 651 HT Mask Aligner est un exemple d'outil de fabrication et de montage de lithographie d'alignement optique grâce à ses performances précises et précises. Avec ses fonctionnalités avancées qui permettent une opération facile et conviviale, il est adapté à la fois pour la recherche et le niveau de production des semi-conducteurs.
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