Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259119 à vendre en France
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT est un outil de microlithographie couramment utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil avancé et haut de gamme avec une précision et une vitesse de commande du mouvement, permettant des caractéristiques de résolution plus élevée et un placement plus serré. SVG 651HT est capable de fournir une large gamme de caractéristiques d'exposition, permettant aux concepteurs d'utiliser des longueurs d'onde d'exposition plus courtes pour des tailles de caractéristiques plus petites et des performances plus élevées. L'ASML 651 HT dispose d'une plate-forme de scène ultra-précise pour le placement et le déplacement des plaquettes, avec une course maximale de 4500mm. De plus, PERKIN ELMER 651 HT dispose d'un équipement de commande focale (FCS) piézo-intégré pour optimiser l'uniformité d'exposition. Le SCA veille à ce que toutes les parties des marques ou des motifs d'alignement demeurent au centre tout au long du processus d'exposition. 651 HT utilise la technologie 2,4MHz Laser Pattern Generation (GPL) avec un support de balayage avancé pour une haute vitesse et des motifs répétables. Le système dispose également d'un Zoom Optics Unit (ZOS) qui fournit un très haut degré de précision et de contrôle sur le processus d'exposition. En plus des fonctionnalités mentionnées ci-dessus, ASML 651HT fournit plusieurs autres fonctionnalités conçues pour supporter des procédés semi-conducteurs avancés. Il s'agit notamment d'un sous-système d'alignement complet, d'un sous-système DFS (Dry Film Striper) pour le développement post-exposition, d'une machine de réglage du masque EDGE (MEAS) de haute précision pour l'optimisation du placement et de la rotation, et d'un outil d'optimisation Autofocus (AOS). 651HT est conçu pour un entretien facile et la fiabilité. Il comprend des diagnostics de processus embarqués, un outil d'étalonnage intégré pour garantir des résultats précis et un outil de contrôle de la température et de l'humidité pour optimiser l'alignement et la précision d'impression. De plus, son architecture ouverte permet des mises à jour faciles pour les nouveaux types de masques. En résumé, SVG 651 HT est un outil polyvalent qui fournit des capacités avancées pour le traitement des plaquettes de précision. Il est conçu pour offrir des résultats fiables et reproductibles dans un large éventail d'applications. Avec sa plate-forme de scène ultra-précise, son modèle de contrôle intégré, sa technologie 2,4MHz Laser Pattern Generation et d'autres fonctionnalités qui prennent en charge les processus semi-conducteurs avancés, SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HT est un choix idéal pour la production de semi-conducteurs haut de gamme.
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