Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #9165927 à vendre en France
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ID: 9165927
Taille de la plaquette: 6"
Mask aligner, 6"
Process: Litho
Non-functional.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT est un aligneur de masque de qualité avancée qui est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil essentiel qui est utilisé pour les processus de lithographie et est capable de produire des images de haute qualité et précises sur une variété de substrats, y compris le silicium, le verre et le quartz. SVG 661 HT est un outil standard de l'industrie qui offre des performances et une précision supérieures grâce à son équipement de mouvement haute vitesse et de précision. Il est équipé d'une conception modulaire qui permet l'utilisation interchangeable à la fois d'étages de plaquettes optiques et de plaquettes sous vide, ainsi que d'interféromètres laser en option et d'aligneurs de faisceaux. Cet alignement de masque peut également être augmenté avec l'utilisation d'une variété de lentilles, diffuseurs et autres composants selon les besoins. L'aligneur dispose également d'un système de contrôle robuste qui permet des réglages rapides du temps d'exposition et une acquisition d'image haute résolution. Il est également équipé d'une unité d'alignement à double faisceau à grande vitesse qui assure une précision de recouvrement précise. La machine est également livrée avec une caméra intégrée qui peut être utilisée pour visualiser l'échantillon en temps réel. En plus des substrats d'imagerie, ASML 661 HT est également capable de les traiter pour des applications de niveau plus profond, telles que la fabrication de circuits intégrés (IC), de systèmes microélectromécaniques (MEMS), et d'autres composants de niveau micron. L'outil dispose également d'un outil de manutention automatisé des plaquettes haute vitesse qui permet le transport des plaquettes vers et depuis les chambres de processus avec un minimum de temps d'arrêt. De plus, cet aligneur de masque est construit avec un châssis robuste et durable à la fois résistant à la poussière et étanche. Il dispose d'un modèle de contrôle actif des vibrations, qui élimine toute perturbation potentielle du processus d'imagerie due au mouvement de l'équipement. PERKIN ELMER 661 HT est également livré avec un filtre à particules intégré qui améliore la qualité globale de l'air et prolonge la durée de vie de la machine. Dans l'ensemble, 661 HT est un alignement de masque avancé qui offre une excellente combinaison de performance, de fiabilité et de flexibilité. Avec ses équipements de mouvements rapides et de précision, son système de commande robuste et son unité de manutention automatisée des plaquettes, il est un outil essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs.
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