Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML 861 HT #9358413 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML 861 HT Features est un aligneur de masque entièrement automatique fabriqué par SVG. L'équipement est conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs, tels que la photolithographie, l'électrodéposition, l'imagerie et le transfert de motifs. SVG 861 HT offre une variété de fonctionnalités, y compris le support pour les substrats jusqu'à 8 pouces de taille, un aligneur laser haute résolution, et un système avancé de liaison de puce optique. L'ASML 861 HT dispose d'une table de translation de cible à double étage robuste et stabilisatrice en mouvement qui est entraînée par des moteurs linéaires de précision. L'unité intègre à la fois un étage piézo et un mouvement vertical qui permet un mouvement selon trois axes, ce qui contribue à maintenir un alignement optimal tout au long de la routine d'alignement. Le résultat est une précision et une répétabilité grandement améliorées par rapport aux systèmes pas à pas traditionnels. La machine dispose également d'un robot double bras intégré qui automatise le processus de chargement/déchargement, permettant un flux de travail à haut débit. Le robot fournit également un pont entre 861 HT et un large éventail de matériaux, tels que des photomasques, des substrats, des spin-coaters, et d'autres équipements de processus. Le résultat est un masque-aligner qui peut exécuter une variété d'étapes de processus d'une manière efficace. PERKIN ELMER 861 HT est également équipé d'un outil d'alignement laser avancé. Cet atout utilise un laser à lumière bleue et deux détecteurs de précision pour localiser rapidement les bords du substrat afin d'obtenir un alignement précis. Le modèle peut accueillir un large éventail de matériaux sans apporter de modifications, y compris divers types de photomasques. SVG/PERKIN ELMER/ASML 861 HT offre également un collage optique avancé capable de coller jusqu'à cinq puces à la fois. Le produit obtenu est haute résistance, répétable, et a un désalignement minimal de la puce à la puce. Le processus de collage est également rapide grâce à l'utilisation d'un galvanomètre à grande vitesse. SVG 861 HT est également équipé d'un moniteur de profil laser très sensible qui est utilisé pour vérifier la qualité du substrat. Les données recueillies par le moniteur sont utilisées pour garantir des paramètres de focalisation et d'exposition corrects pour le processus de collage de la puce optique et pour assurer la cohérence globale. Tout cela contribue à assurer le plus haut niveau de rendement du produit et le plus faible niveau de contamination. Dans l'ensemble, ASML 861 HT est un masque-aligneur avancé entièrement automatisé qui offre une large gamme de fonctionnalités qui permettent un traitement efficace et de haute qualité des semi-conducteurs. Le robot à deux bras, l'alignement à base de lasers et l'équipement de liaison optique à puce contribuent à rendre le système polyvalent et hautement productif. En outre, le moniteur de profil laser ajoute une couche supplémentaire de protection contre la contamination et les pertes de rendement dues aux désalignements.