Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML M641HT #9220746 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT est un aligneur de masque haut de gamme couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un équipement hautement automatisé, capable de manipuler une variété de tailles de masques de taille complète 7 pouces à 8 pouces jusqu'à aussi petit que 8 microns. L'aligneur de masque SVG M641HT utilise un système d'alignement à 4 voies pour localiser avec précision les substrats, les lèvres et les réticules dans la chambre de l'aligneur. Grâce à cette unité, l'alignement substrat-réticule peut être facilement réalisé, ce qui permet à la machine de travailler avec une précision et une précision élevées. En outre, l'outil prend également en charge plusieurs aligneurs de masques, offrant une flexibilité dans vos besoins de production et de test. ASML M641HT dispose d'une large gamme de systèmes de contrôle, conçus pour vous donner un contrôle précis sur le processus. Cela comprend le contrôle de la trajectoire du faisceau, de la focalisation et de l'exposition, ainsi que l'alignement automatisé des étages. L'actif de contrôle avancé contribue également à assurer la qualité du processus, ce qui facilite la réalisation de parcours à haut rendement. Le modèle utilise un appareil laser à galvanomètre pyramidal pour fournir un éclairage uniforme. Ce laser génère environ 1mW de puissance, et la tache du faisceau peut varier entre 20 et 160 microns pour tenir compte de différentes tailles de réticules. La précision de la trajectoire du faisceau peut être ajustée en temps réel, garantissant une précision d'alignement maximale. Le système peut être utilisé avec une variété de matériaux, tels que Si, polyimide, GaN, GaAs, et plus encore. Il supporte divers processus d'imagerie, y compris le réticule de contact à la plaquette, le réticule ouvert à la plaquette, la double exposition inversée localisée (LIDE), l'exposition sans flash (FFE) et l'imagerie multicouche. En plus de ses capacités d'imagerie, PERKIN ELMER M641HT prend également en charge d'autres étapes de processus, telles que la superposition, la mesure de tolérance CD et le réglage de profondeur. Cela vous permet d'utiliser l'unité pour une gamme d'applications, y compris la lithographie, le dépôt, la gravure sèche, et plus encore. M641HT est une machine automatisée qui fournit une précision et une précision élevées, ce qui en fait un choix idéal pour les entreprises de semi-conducteurs à la recherche d'un outil fiable pour produire des produits de haute qualité. Grâce à ses capacités de contrôle avancées et à ses atouts laser, SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT peut traiter la plupart des exigences de processus d'imagerie.