Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330HT #128862 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330HT est un équipement d'alignement de masque de pointe qui est conçu pour faciliter l'alignement submicronique des éléments de puce aux motifs sur les plaquettes. Ce système offre une vitesse, une précision et un débit exceptionnels, ce qui le rend idéal pour des applications telles que la fabrication de photomasques, la fabrication de dispositifs, la lithographie avancée, etc. Les principaux composants de l'unité SVG Micralign 330HT sont le cadre de masque, l'optique réfractive, l'assemblage des lentilles, la table d'alignement et le moteur bidimensionnel (2D). Le cadre de masque est conçu avec un masque modulaire oscillant à double ou à quatre faces, permettant de travailler avec plusieurs masques à différentes positions. L'optique réfractive assure une vision claire et haute résolution des motifs de la cible pendant l'alignement. L'ensemble de la lentille est également réglable afin d'obtenir la meilleure focalisation de l'alignement. La table d'alignement comprend deux tours de réglage bidimensionnel, permettant un réglage précis de la position du masque pour que le motif cible puisse être aligné avec la plaquette. Le moteur 2D utilise une paire de trappes 2D et une paire d'étages mobiles avec codeur linéaire pour mesurer la distance entre la cible et la plaquette. Le Mask Aligner Controller (MAC) agit comme le cerveau de l'opération, permettant à l'utilisateur de sélectionner et de configurer facilement les paramètres d'alignement désirés. Ce contrôleur se compose de la fenêtre d'alignement qui montre la position du masque sur la scène, et d'un ensemble de commande qui comprend des fonctions intégrées pour assurer l'alignement automatique avec une précision allant jusqu'à 10 microns. En outre, le MAC est équipé d'une capacité Autofocus qui amène le foyer du masque au point désiré pour une résolution optimale. Les modes de fonctionnement courants de la machine ASML Micralign 330HT comprennent un seul alignement de masque, auto-alignement sur plaquette, alignement manuel sur plaquette, et les trois modes combinés. Par exemple, en mode auto-alignement sur plaquette, les paramètres d'optimisation s'ajusteront automatiquement au fur et à mesure du déplacement de la plaquette. La combinaison de modes d'alignement simple, automatique et manuel permet aux utilisateurs de travailler avec différentes résolutions et modèles. Dans l'ensemble, Micralign 330HT est un outil d'alignement de masque très polyvalent. Il peut manipuler une variété d'éléments de puce avec précision et vitesse, ce qui en fait un choix idéal pour la lithographie avancée, la fabrication d'appareils et la fabrication de photomasques. Doté d'un contrôleur intelligent d'alignement de masque, d'une optique réglable, d'une lentille réglable et d'un moteur bidimensionnel transversal, cet atout peut réduire considérablement le temps de réglage et fournir des résultats d'alignement exceptionnels.