Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 540 #128869 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 540 est un équipement multi-axes d'alignement de masque d'éclairage direct, développé pour les applications de photolithographie au niveau des plaquettes et des puces. SVG Micralign 540 utilise un modèle mathématique pour déterminer un alignement spécifié par l'utilisateur d'un masque sur une plaquette. Le microscope peut monter et descendre dans le plan vertical, à gauche et à droite dans le plan horizontal et tourner à 360 degrés. Tous ces axes peuvent être facilement contrôlés avec l'interface utilisateur graphique, permettant un enregistrement précis du masque sur la plaquette. L'aligneur intègre à la fois un illuminateur vertical unique et un grand système d'imagerie de champ de vision. L'illuminateur vertical utilise une tache réglable de lumière visible pour détecter avec précision les marques d'alignement sur la plaquette et contribue à assurer un enregistrement précis sur le masque. L'unité d'imagerie combine un objectif d'imagerie motorisé avec une caméra CCD couleur, fournissant une détection continue et cohérente des marques d'alignement et une imagerie claire des caractéristiques pour assurer un alignement précis. ASML Micralign 540 utilise une machine autofocus à double réseau de pointe pour la précision et la répétabilité des mesures. La conception à double réseau permet au microscope de détecter les écarts macro et micro-échelles par rapport au plan focal, ce qui permet d'assurer la précision de l'alignement sur les distances les plus longues possibles. L'outil à double réseau se combine avec un contrôleur autofocus puissant pour permettre un étalonnage automatique précis du point de focalisation, améliorant ainsi la précision de l'alignement. En plus des caractéristiques ci-dessus, l'actif intègre également plusieurs caractéristiques d'ingénierie qui favorisent une précision et une répétabilité accrues, comme un obturateur mécanique pour un contrôle précis de l'exposition, un étage de piézo-entraînement linéaire 24 bits motorisé et un coin optique pour un emplacement fiable des plaquettes. Micralign 540 permet aux utilisateurs de surveiller et d'enregistrer toutes les propriétés d'alignement et de focalisation en temps réel, assurant des performances fiables et mesurables. Ce modèle Mask Aligner peut également être entièrement intégré dans un équipement de flux de processus, permettant un fonctionnement automatisé et un débit de processus accru.