Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #156275 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT est un aligneur de masque conçu pour l'alignement rapide et précis des photomasques sur les plaquettes semi-conductrices dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il convient aux environnements de production où la précision et le débit sont requis. SVG Micralign 651HT est un pas de niveau de plaquette avec un champ de vision de 4 pouces, qui fournit une résolution jusqu'à 1µm de la taille du pixel. Il dispose d'un mécanisme de transport de masque avec une grande capacité de taille de masque 145mm. L'équipement est équipé de trois sous-systèmes de mesure optique, qui mesurent le contraste d'image, le profil de hauteur macroscopique et la position de focalisation au microscope. Il utilise un système d'étage à deux axes qui peut être utilisé pour le placement automatique du masque, fournissant un alignement rapide et précis avec une précision d'enregistrement de 0,7 µm. Un contrôleur intégré dispose d'une interface graphique intuitive et d'un langage de programmation facile à utiliser. ASML Micralign 651HT est conçu pour traiter une grande variété d'applications, y compris la lithographie, la vérification optique et l'inspection de surface. Il peut également être utilisé pour le gaufrage à chaud et le collage de substrat. L'interface utilisateur facilite la programmation, le stockage et la récupération de recettes d'alignement pour un alignement de masque efficace. L'optique de la machine est logée dans un module porte-air pour minimiser l'usure et les vibrations, ce qui permet un alignement plus lisse et plus précis des plaquettes. Sa caméra d'imagerie haute vitesse fournit des temps de réponse rapides et des données de haute précision. Son optique dispose également d'un filtre d'interférence acoustique pour réduire le bruit de fond lors de la mesure de petits détails. L'outil offre un haut débit avec sa grande capacité de masque, la répétition de motifs variables et un langage de programmation facile à utiliser. En outre, il peut être facilement intégré à d'autres systèmes, y compris des microscopes opto-mécaniques et des systèmes automatisés d'inspection optique. Sa précision d'alignement très répétable et son fonctionnement à faible bruit en font une solution idéale pour les environnements de production.