Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293619654 à vendre en France

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 est un aligneur de masque - une machine utilisée pour le placement et l'alignement précis des réticules lithographiques lors de la production de dispositifs microélectroniques. SVG Micralign 700 est un outil polyvalent qui peut aligner des masques de différentes dimensions et caractéristiques dans les plaquettes semi-conductrices, permettant un positionnement et un alignement précis des motifs de circuits. La machine comprend un équipement de caméra de balayage du réticule et de la plaquette, un système d'alignement bilinéaire, un robot à 6 axes de positionnement et d'alignement précis du réticule par rapport à la plaquette, et une unité autofocus de haute précision et répétabilité des opérations de balayage. Le robot à 6 axes permet la disposition manuelle des réticules de lithographie selon trois directions perpendiculaires entre elles : X-Y-Z. ASML Micralign 700 a deux têtes de balayage, une pour les réticules de plus grande taille jusqu'à 10 pouces (25 cm), et une pour les masques de plus petite taille jusqu'à 4 pouces (10 cm). La machine de caméra utilise la technologie d'imagerie Blue Laser Diode (BLD) pour scanner les réticules et les plaquettes avec précision, fournissant un superbe SNR (> 300) et une vitesse de rotation élevée pour la scène, jusqu'à 3 tours par seconde. L'outil autofocus est basé sur un algorithme d'exposition multiple (MEA) et utilise un actif de balayage en Z pour mesurer rapidement et précisément les distorsions résiduelles de l'image. Ceci permet un positionnement et un alignement précis des réticules par rapport à la plaquette, avec une répétabilité de placement < 5 nanomètres. Micralign 700 dispose également d'un modèle hydraulique HCS (Hydraulic Chuck Model), qui est conçu pour sécuriser la plaquette en place lors des opérations d'alignement, fournissant un niveau de stabilité qui est essentiel pour un alignement précis du masque par rapport à la plaquette. Le HCS offre une solution réglable et sans outil pour sécuriser la plaquette en place sans avoir besoin d'outils supplémentaires. PERKIN ELMER Micralign 700 est un outil robuste et polyvalent qui permet l'alignement précis et répétable des réticules par rapport à la plaquette. L'équipement de caméra BLD très précis de la machine et le système d'autofocus MEA garantissent une excellente précision dans les opérations de balayage, tandis que le HCS optionnel assure que la plaquette reste fixe et sécurisée pendant les opérations d'alignement. Avec une répétabilité de placement < 5 nanomètres, SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 est un outil indispensable pour la fabrication de composants microélectroniques sophistiqués.