Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #9232857 à vendre en France
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Vendu
ID: 9232857
Taille de la plaquette: 4"
Projection mask alignment system, 4"
Autoload system
Wafer type: Semi flat
Cassette to cassette
Includes optical alignment spacers
Auto fine alignment (AFA).
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 de SVG est un aligneur de masque qui fournit puissance et précision pour tous les processus de photolithographie semi-conducteurs et connexes. Cet instrument de haute précision est conçu pour aligner et inspecter les motifs de masques, ce qui en fait l'outil parfait pour la fabrication de semi-conducteurs. SVG Micralign 700 est un appareil d'imagerie optique à balayage entièrement automatisé, capable d'aligner deux ou plusieurs masques avec une grande précision dans la gamme des nanomètres. Ce système de balayage peut offrir simultanément l'acquisition, l'alignement et l'inspection des motifs de masque. Il dispose également de deux modes de fonctionnement différents : 1-exposition et 2-exposition. Cette unité complète comprend également un HPMA (High Precision Mask Aligner) pour permettre aux utilisateurs d'aligner facilement plusieurs masques avant le processus d'exposition principal. L'ASML Micralign 700 garantit un débit et une précision élevés pour répondre à tous les besoins. Il a un champ de vision très large jusqu'à 4 x 5 pouces, pour réduire le temps de réplication du masque de manière significative. De plus, la machine à franges moiré de haute précision, avec un faible bruit d'aliasing, assure un alignement rapide, précis et stable entre les images source et cible. Le sytème est également en concurrence avec les systèmes d'alignement laser augmentés avec sa grande précision sur l'ensemble du champ de vision, et une précision d'alignement de pas de 15µm. Le calibrateur PVC-1000T s'assure que tous les paramètres de l'équipement sont contrôlés en permanence, et que tous les composants sont parfaitement alignés. L'outil CCD intégré et haute résolution permet également l'inspection sans contact des masques. En outre, l'actif d'environnement intégré et contrôlé maintient tous les paramètres essentiels à des valeurs optimales. PERKIN ELMER Micralign 700 a été optimisé pour la sécurité et le fonctionnement convivial. Son interface graphique intégrée et facile à lire assure une communication facile entre l'opérateur et le modèle. En outre, une série de systèmes de sécurité, tels que l'arrêt automatique, le moniteur d'obscurité intégré, le détecteur de rayons X et l'équipement de détection de générateur d'étincelles ou de plasma, travaillent en tandem pour protéger l'utilisateur et l'équipement contre tout dommage. Micralign 700 garantit des performances et une précision de protocole de la plus haute qualité, ce qui en fait l'outil parfait pour toute production de semi-conducteurs. Il fournit une solution efficace et innovante à des besoins d'alignement et d'inspection des masques très précis dans l'industrie des semi-conducteurs.
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