Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9187411 à vendre en France
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SVG/PerkinElmerSVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL est un aligneur de masque utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la lithographie. Ce dispositif est utilisé pour placer des motifs sur un masque (photomasque ou réticule) et les transférer avec précision sur un substrat tel que du silicium ou du verre. Le SVGL est capable de créer un alignement ultra précis de plusieurs niveaux de motifs, permettant une haute résolution dans la conception de la puce résultante. Le SVGL dispose également d'un équipement optique de pointe qui peut se concentrer sur les surfaces des plaquettes et des réticules pour une résolution d'imagerie optimale. Le SVGL utilise un guide laser pour guider tout au long du processus de lithographie, permettant un contrôle précis pour chaque étape de transfert. Les moteurs linéaires à balayage permettent un déplacement très précis de l'étage. Les signaux d'alignement sont basés sur la mesure de front, qui génère les données de position. Le dispositif peut également compenser les variations individuelles des composants tout en conservant des niveaux de précision élevés. Le système d'imagerie embarqué du SVGL utilise des caméras doubles pour des informations automatiques telles que la commutation de motifs et la mesure du décalage du substrat. L'unité de contrôle du SVGL peut être programmée avec le logiciel dédié du contrôleur. Cette machine de contrôle permet de personnaliser des paramètres tels que les positions du substrat et du réticule, les réglages optiques, le contrôle du guide laser et les réglages définis par l'utilisateur. C'est pourquoi le SVGL est souvent utilisé dans les lignes de production. Le SVGL bénéficie également de fonctionnalités de maintenance prédictive et préventive. Ce dispositif peut être utilisé pour plus de 3500 emplacements de plaquettes par jour et peut couper les défauts dans les puces jusqu'à 30 %. Il offre également une interface graphique facile à utiliser et une grande précision. En conclusion, ASML/PerkinElmerSVG PE SVGL est un aligneur de masque utilisé en lithographie semi-conductrice. Il dispose d'un guide laser pour un alignement précis et d'un moteur linéaire à balayage pour un positionnement précis. De plus, le SVGL offre un outil d'imagerie avancé, un atout de contrôle programmé, des fonctionnalités de maintenance prédictive et préventive, et une interface utilisateur intuitive. En raison de son haut niveau de précision, le SVGL est un excellent choix pour ceux qui cherchent à obtenir des résultats à haute résolution dans leur conception de puce.
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