Occasion SVG / PERKIN ELMER / ASML PE761 #9113601 à vendre en France
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SVG/PERKIN ELMER/ASML PE761 est un outil de masquage de haute précision utilisé pour modeler des plaquettes de semi-conducteurs et des couches de dispositifs à l'échelle du nanomètre. Le masque aligner cible les processus de photolithographie dans la création de dispositifs semi-conducteurs. Pour chaque processus de lithographie, un 'masque' également connu sous le nom de photomasque est requis. Il contient des motifs qui sont imprimés sur les plaquettes. Les couches du dispositif doivent être placées dans des endroits précis où elles sont ensuite exposées et structurées. Une caractéristique clé de SVG PE761 est sa haute précision de position et optique qui est nécessaire pour une circulation précise. Son système d'alignement automatique à 6 axes hautement intégré offre un haut degré de flexibilité et de précision. Il offre un étage motorisé pouvant supporter des tailles de plaquettes de 4 « ou 6 » ainsi qu'un double alignement de plaquettes et une large gamme de tailles de réticules. ASML PE761 est doté d'un système d'image optique à la fois à champ lumineux et à champ sombre, ce qui le rend capable de faciliter différents types d'inspection, y compris des inspections de très petites structures. PERKIN ELMER PE761 dispose également d'une large gamme de fonctions d'automatisation et de contrôle des processus. Il est capable d'automatiser les processus d'alignement, de lithographie et d'exposition et intègre également des fonctions de contrôle automatisé des processus statistiques (RCP), fournissant des capacités de surveillance des processus en temps réel. En plus de ce qui précède, PE761 offre également une gamme de caractéristiques de productivité incluant une haute résolution de positionnement, un transfert rapide des plaquettes et une grande répétabilité et fiabilité. Parallèlement, la machine est capable de traiter un éventail de processus différents ainsi que des intentions multiples. Il s'agit notamment de l'impression à bonne filière connue et du contrôle du procédé CMP (Chemical Mechanical Pollishing). Le SVFSVG/PERKIN ELMER/ASML PE761 est un outil automatisé, précis et très intégré d'alignement de masque. Ses capacités de conception et de performance de pointe en font un choix idéal pour la fixation de plaquettes semi-conductrices ou de couches de dispositifs à l'échelle du nanomètre. La combinaison de son système d'alignement à 6 axes, de l'alignement des plaquettes et des fonctions automatisées de contrôle et de surveillance des processus font de SVG PE761 un outil extrêmement utile pour les applications de photolithographie et de contrôle des processus.
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