Occasion ADE / KLA / TENCOR AWIS 3110 #293816349 à vendre en France

ADE / KLA / TENCOR AWIS 3110
ID: 293816349
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR AWIS 3110 est un équipement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de fournir une inspection répétable et fiable des masques optiques et des plaquettes, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'identifier rapidement et de manière fiable les défauts potentiels dans leurs processus de fabrication. Le système comprend un bras robotique à six axes, une unité optique de sous-dimensionnement, un étage de 500 mm pour le support de substrat, et un algorithme d'échantillonnage statistique qui permet d'évaluer les défauts sous-jacents sur les masques et les plaquettes. Le bras robotique est conçu pour assurer une inspection rapide de plusieurs zones sur le substrat, contribuant à assurer la couverture de toute zone à risque de défaut. La machine optique sous-dimensionnée permet de détecter les défauts de bas niveau, tandis que l'étage de 500 mm offre une grande marge de manoeuvre pour les substrats. L'outil est également équipé d'une variété d'algorithmes d'analyse de données d'image. Ces algorithmes peuvent être utilisés pour détecter automatiquement toutes les caractéristiques pertinentes sur les masques et les plaquettes, y compris celles qui sont de taille sub-micron. Cet atout est également capable de transporter un large éventail d'algorithmes d'inspection, y compris la détection de bord pour une meilleure détection des caractéristiques de surface, des mesures automatiques de largeur de ligne, et des calculs d'efficacité pour une meilleure détection de contraste. Enfin, l'ADE AWIS 3110 comprend également des capacités de gestion des données. Cela permet à l'utilisateur de stocker les résultats de l'inspection, ce qui lui permet de revoir et de comparer rapidement et efficacement les résultats sur plusieurs séries. Cela aide à améliorer la rapidité et la précision du processus d'inspection. Dans l'ensemble, KLA AWIS 3110 est un modèle efficace et fiable pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il offre un ensemble complet de fonctionnalités, allant du mouvement robotique des bras et des systèmes optiques sous-dimensionnés aux algorithmes d'analyse des données d'image et aux capacités de gestion des données. Cela permet aux utilisateurs d'identifier rapidement et précisément les défauts sous-jacents sur leurs substrats, contribuant ainsi à améliorer l'efficacité et la fiabilité de leurs procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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