Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200 #9280961 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200
ID: 9280961
Wafer inspection systems 2001-2003 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La boussole 200 est un équipement complet d'inspection des masques et des plaquettes qui permet de caractériser des structures avancées jusqu'à des dimensions de 0,25 µm. Ce système permet une inspection optique de haute précision grâce à sa capacité d'imagerie haute résolution, offrant une profondeur de focalisation et une résolution de bord supérieures. C'est une solution intégrée avec une gamme d'outils logiciels qui permettent une configuration rapide et un contrôle de processus optimisé pour différentes tâches d'inspection de motifs. Il s'intègre à la suite d'inspection de masques Allegro standard de l'industrie, offrant un débit efficace pouvant atteindre 200 plaquettes par heure. L'unité est conçue pour effectuer un certain nombre de mesures critiques telles que l'alignement de superposition et la validation de lithographie. Il utilise la technologie avancée CCD et laser-diode pour les options de plaquettes et les lasers vidéo-alignement pour l'alignement des masques qui assure des résultats d'inspection de motifs lisses et fiables. La machine bénéficie également des composants mécaniques de haute précision et de l'automatisation complète qui assure des résultats reproductibles. Cela garantit que toutes les exigences du client sont satisfaites. De plus, AMAT Compass 200 offre la reconnaissance de motifs Paragon pour des structures plus complexes telles que des trous de contact, des vias et des lignes à l'intérieur du motif de masque. Cette fonctionnalité permet de reconnaître les caractéristiques individuelles de chaque caractéristique en fonction de règles intégrées et de mesurer leurs dimensions et espacements. Cela réduit le temps et l'effort du processus d'inspection et augmente la précision. L'outil dispose également du module d'imagerie 3D, offrant une précision d'extraction de profondeur supérieure et un contrôle de qualité amélioré. Cela devrait aider à réduire le nombre de défauts ou de retravaillements. En outre, il est soutenu par une vaste bibliothèque de variations de CD prédéfinies et des nœuds de processus pour l'examen efficace du masque, aidant à fournir des économies de temps et des résultats précis. La solution logicielle complète et les capacités matérielles de APPLIED MATERIALS Compass 200 masque et wafer inspection actif assurent des résultats de haute précision avec des vitesses d'inspection rapides. Ceci est bénéfique pour leurs clients car il assure une validation lithographique précise et a amélioré les flux de travail pour le contrôle des processus.
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