Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 #9280347 à vendre en France

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ID: 9280347
Taille de la plaquette: 12"
Defect review system, 12" Wafer shape: Notch Electron optical system: Accelerating voltage: 150 V - 15,000 V Probe current: 10 pA - 1.2 pA SEM Resolution: 4 nm at 1 kV Magnification: 200x - 200,000x Maximum pixel: 1440 Multi perspective SEM imaging VC model Optical microscope system: Bright light microscope Dark field microscope Optical microscope: 5x / 20x / 100x SECS / GEM Communication interface: Defect file format Output file format Host communication (SECS II / GEM /HSMS) Wafer stage: Stage accuracy: ±1.5 um Unique die to die Automatic defect review Automatic defect classification Automatic process inspection No E-Chuck stage Anti charge Peripheral: Port type 1 and 2: OCLP With EDX Tilt and rotation Remote work station Resolution target: Regular Signal tower: Standard EPDU No FIB.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 est un équipement sophistiqué d'inspection de masques et de plaquettes. Cet appareil dispose d'une optique de pointe et d'une technologie de traitement d'image pour fournir des capacités d'imagerie et de détection submicroniques à haute résolution. Le DR-300 dispose d'une plate-forme de balayage unique qui fournit un rapport signal/bruit constamment élevé pour les nœuds de 32nm et de dessous. Il dispose d'un système d'éclairage coudé pour permettre l'imagerie hors axe et multi-faisceaux pour permettre une augmentation de la sensibilité et du débit. En outre, le DR-300 offre une imagerie haute vitesse de dimension critique inégalée qui peut analyser les structures plus rapidement et avec plus de précision que jamais. Le CX DR-300 supporte une gamme de capacités d'imagerie différentes. Il dispose de l'imagerie directe par faisceau (IAD), une technologie unique conçue pour réduire les effets des réflexions et des aberrations et pour donner une imagerie plus nette pour les échantillons difficiles, comme ceux avec des angles de dispersion étroits ou de grandes hauteurs. En outre, il dispose d'angles d'éclairage hors axe et d'imagerie multi-faisceaux. L'imagerie multifaisceaux est essentiellement une combinaison avancée d'imagerie en champ sombre et d'imagerie par focalisation parce qu'elle ne repose pas sur le contraste dû aux réflexions, permettant l'imagerie de structures métalliques ultra-minces avec une grande précision. Enfin, le CX DR-300 offre des capacités complètes d'inspection des défauts, avec la reconstruction d'images 2D et 3D, la classification automatisée des défauts et les capacités améliorées de classification automatique, ainsi que l'imagerie pour les mesures automatiques de taille via. Il dispose d'une capacité intégrée d'examen intelligent des défauts, qui permet un examen facile des images d'examen et fournit des recommandations pour une enquête plus approfondie ou un examen plus approfondi. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour faire d'AMAT SemVision CX DR-300 un excellent système d'inspection des masques et plaquettes pour toute industrie où l'imagerie fiable et précise est essentielle. Il offre des performances de haut niveau et une précision garantie des mesures, ce qui permet d'obtenir les plus hauts niveaux d'assurance qualité. Cet équipement est indispensable pour tout fabricant cherchant à garantir des processus d'inspection efficaces et fiables.
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