Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus #9205642 à vendre en France
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Vendu
ID: 9205642
Taille de la plaquette: 8"
Defect review system, 8"
Tool performences:
ETU
ITU
TILT
OM
PAL
Stage
Rotation
SEM:
Vacuum
Minimodule values
EDX:
Temperature
Calibrated.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS SemVision CX Plus est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système avancé comprend un Ellipsomètre, un module d'inspection de surface (SIM) et un logiciel intégré robuste. L'unité avancée fournit la résolution HD, le contournage et la vérification des plaquettes, de nombreuses capacités de mesure, et un faible coût de propriété. L'Ellipsomètre est conçu pour surveiller les couches de matériaux d'une plaquette avec une grande précision. Il utilise à la fois la polarisation mono- et multi-spectrale pour analyser la plaquette. La machine est capable d'inspecter des couches jusqu'à 30nm avec une résolution de 1nm. Cet Ellipsomètre supporte également des modes de mesure à basse température pour les matériaux photorésistants et diélectriques. Le module d'inspection de surface (SIM) permet une analyse détaillée de la topographie de surface, de la contamination, du stress, etc. La caméra CCD de 9,1 mégapixels incluse permet l'imagerie haute résolution, capturant les plus petits défauts dans les plaquettes. De plus, le SIM est capable d'utiliser la technologie d'imagerie 3D pour acquérir rapidement des profils de surface qui peuvent être utilisés pour surveiller les performances des appareils. Le CX Plus intègre un logiciel puissant. Le logiciel offre un accès facile à toutes les fonctionnalités du matériel, y compris la capacité de gérer plusieurs plaquettes à la fois et un outil d'optimisation puissant qui aide à maximiser la précision de l'outil d'inspection. AMAT SemVision CX Plus est un outil avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le modèle dispose d'un Ellipsomètre et d'un module d'inspection de surface avec une caméra CCD de 9,1 mégapixels. L'équipement est capable d'inspecter des couches jusqu'à 30nm avec une résolution de 1nm, et peut détecter les plus petits défauts dans les plaquettes. Le CX Plus dispose également d'un logiciel intégré qui offre un accès facile à toutes les fonctionnalités matérielles, et comprend un outil d'optimisation puissant pour maximiser la précision.
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