Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB #9375215 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB
ID: 9375215
Defect review system Process: Metrology.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS SemVision G3 FIB est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour assurer la détection et l'analyse automatisée, rapide et non destructive des défauts. Le système utilise un faisceau ionique focalisé (FIB) pour accéder aux caractéristiques enfouies sous la surface. L'unité est basée sur des techniques d'interaction de faisceaux d'électrons, qui ont été adaptées aux plaquettes et masques. La FIB est dirigée vers des zones de l'échantillon où des défauts sont suspectés, et la machine les détecte et les caractérise ensuite. Le faisceau sert également à couper la surface locale, de sorte que la géométrie interne des défauts peut être étudiée. Le SEM peut détecter une grande variété de types de défauts, y compris des défauts de surface et de sous-surface tels que des rayures, des fractures, des défauts ponctuels, des variations de composition locales et des particules à l'échelle du micron. AMAT SemVision G3 FIB a été conçu avec une interface conviviale pour faciliter le contrôle des outils. L'actif comprend une variété d'étapes, telles que l'étape de montage de l'échantillon, l'étape de la chambre de travail et l'étape d'irradiation. Il dispose également d'un modèle d'imagerie avancé, avec une grande chambre d'échantillonnage. Les modules d'acquisition et d'analyse d'image peuvent être utilisés pour localiser et analyser efficacement les défauts. En outre, l'équipement supporte diverses sources de rayonnement, telles qu'une coupe Faraday standard, un système d'imagerie CCD, et une combinaison d'un spectromètre d'énergie ionique et d'un spectromètre de rétrodiffusion d'ions. Il dispose également d'une unité de reconstruction d'image avancée pour analyser diverses caractéristiques topographiques, de surface et d'interface. Les capacités de balayage à grande vitesse de la machine, associées à son contrôle précis du courant du faisceau, permettent une détection et une analyse rapides et précises des défauts. La capacité d'imagerie de l'outil peut capturer des images haute résolution sous divers angles et vues. Cela le rend idéal pour une utilisation dans le contrôle des processus et l'analyse des échecs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS SemVision G3 FIB est un puissant atout d'inspection qui peut fournir des résultats rapides et précis avec un minimum d'effort. Le modèle d'imagerie sophistiqué permet la détection et la caractérisation précises et fiables des défauts de sous-surface et de surface. L'interface conviviale et les capacités matérielles le rendent facile à utiliser, et ses capacités de balayage à grande vitesse permettent une détection et une analyse des défauts très efficaces.
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