Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9280960 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9280960
Defect review system, 12"
Specifications:
± 0.05 mm (SEMI M28)
775 ± 25 um
Notched wafers
Carrier: (2) FOUPs 25wf, 12"
Interface: (2) FOUP (Continuous flow operation)
Supporting remote units
EBARA ES80 Dry and vacuum pumps
EPDU
UPS: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
Vacuum block assembly
Fixed system configuration:
Wafer ID reader: Backside bar code wafer scribe reader
P I/O For OHT (Hokuyo): VERITYSEM AUTO5
Operator access switch: VERITYSEM AUTO8
Wafer mapping capable: Through beam mapper VERITYSEM-AUTO6
Optical FOV: Large optical FOV 100x um 20x and 2.5x
Communications protocol: SECS-II GEM+
HSMS 300 mm as VERITYSEM AUTO10, E84,E87,E90,E94 (TAR1.5)
Tilt capability: Tilt function NA
Contact hole profile grade: SECS capable output VERITYSEM-SYS2
Wafer stage: Anorad stage
Data back up: Monthly PM backup
EMO: One per side of main body and one on operator console
Interlocks: ETU Access panel
Signal tower:
Red / Yellow / Green / Blue:
Upper left of front and upper right section of loader on maintenance side
Installation requirements: CDA Bulk gas
(l/min) per SEMVision SSPS:
CDA Peak flow: 120
Ave flow: 16
LPOCs Req: 4
Electric supply: 120 V, Single phase, Peak flow: 1, 120 V
Water: (l/min) per SEMVision SSPS
PCW Peak flow: 75
Exclusive to G3
Stage: Z25 Oil, stage acceleration 1/4g, clean cables
Scan electronics: MEC
Computer: IP and WHC and MEC and EDX Computer
Power supply: HVPS, CDM
SEM Column: Column version NA
OM: DF/BD
Dry pumps not included
CE Marked
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour effectuer des mesures précises sur les substrats et les circuits. Le système est construit sur une plate-forme ouverte et modulaire qui permet une intégration facile avec les systèmes de test et de métrologie existants. Il est équipé d'outils d'imagerie haute résolution pour acquérir des images précises de structures structurées, y compris des couches critiques, à une résolution suffisante pour permettre des mesures précises. L'unité dispose d'une technologie d'acquisition d'images à grande vitesse, qui permet d'analyser une grande surface en peu de temps. Il intègre également des algorithmes sophistiqués de traitement d'images pour améliorer les images, détecter les défauts et permettre des mesures plus précises des dimensions et des formes. La machine est livrée avec une puissante suite d'outils logiciels pour analyser les images acquises. Ces outils permettent de comparer des mesures avec des données de référence et de valider des critères spécifiques utilisés pour identifier des défauts de conception. L'outil est également équipé d'une gamme de capacités de mesure qui permettent des mesures précises et à haute résolution de divers paramètres, y compris la largeur de ligne, largeur minimale, surplomb, linéarité, rugosité des bords, largeur de contact, profondeur de gravure, diamètre et angle effilé. De plus, les capacités d'imagerie en transmission et en réflexion sont intégrées pour faciliter la comparaison précise des dimensions absolues entre plusieurs couches d'un substrat. L'actif est également conforme aux normes de l'industrie, comme la norme SEMI M13, ce qui lui permet d'être compatible avec les outils de métrologie existants. En outre, il dispose d'une interface conviviale, permettant aux utilisateurs de configurer et d'utiliser le modèle rapidement et efficacement. Toutes les fonctionnalités et capacités de l'équipement peuvent être contrôlées via une interface utilisateur Web. AMAT SemVision G3 Lite est une solution idéale pour l'inspection des masques et des plaquettes, offrant aux utilisateurs une couverture d'essai efficace et complète des substrats et des motifs. Le système est conçu avec les dernières technologies optiques et d'imagerie et utilise des capacités de traitement d'image robustes pour garantir une qualité et une précision d'image supérieures. Son interface conviviale et ses routines de mesure personnalisables en font un choix idéal pour une variété d'applications, permettant aux utilisateurs de gagner du temps tout en maintenant le débit et la qualité des produits.
Il n'y a pas encore de critiques