Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9298508 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 Mask & Wafer Inspection Equipment est un système de métrologie de qualité de production qui fournit une inspection optique avancée et l'examen des défauts pour les wafers semi-conducteurs et les photomasques utilisés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. AMAT UVision 5 utilise la technologie de balayage à 360 degrés pour mesurer avec précision les caractéristiques dimensionnelles et les variations de surface des circuits complexes et des photomasques. Cette unité est capable d'inspection au niveau de la plaquette et de la matrice. Pour l'inspection au niveau des plaquettes, la machine utilise une taille de tache de faisceau de 1 µm et un outil optique de focalisation de 50 μ m avec une taille maximale de plaquette sous vide de 195mm pour agrandir jusqu'à 10 000 x. De plus, l'actif est conçu pour fournir des mesures de haute précision des circuits et des motifs grâce à son réglage de focalisation continue breveté pour maintenir le débit le plus élevé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS UVISION 5 fournit une analyse des défauts de surface à haute résolution, ou un examen des défauts. Il s'agit de la métrologie 3D, du profilage topologique de surface et de l'imagerie des caractéristiques des défauts et de la morphologie des défauts. Le modèle est équipé d'algorithmes avancés de traitement d'image conçus pour améliorer la précision et la répétabilité de l'examen des défauts. Cela comprend à la fois l'examen automatisé des défauts (EIM) pour l'analyse avancée des défauts et les mesures du rendement de la détection automatisée pour la production de résultats d'analyse précis. L'équipement UVision 5 automatise l'ensemble du processus d'inspection, de l'inspection optique à l'analyse des défauts. Cela comprend l'alignement automatisé des plaquettes, la trace et l'examen précis de la distorsion, et la classification automatique des défauts. Le système intègre également l'alignement des masques 2D, le balayage CD/RCD et la couture. Enfin, l'unité fournit des mesures de routine, des tests de performance, des mesures de la taille des caractéristiques et des OSAT, des mesures CD/RCD et des mesures de rugosité en bordure de ligne (LER) pour suivre les rendements de fabrication. En utilisant l'automatisation intégrée et le haut niveau de précision et de précision des données, AMAT/APPLIED MATERIALS UVISION 5 fournit une inspection fiable et répétable des masques et des plaquettes pour les environnements de production. Cette machine augmente le débit, respecte les limites d'inspection inférieures et offre un niveau plus élevé de contrôle des processus.