Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9375213 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5
ID: 9375213
Brightfield inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVISION 5 est un outil de travail dans le monde de l'inspection des masques et des plaquettes. Il offre une inspection fiable et polyvalente des plaques dans un équipement hautement automatisé, avec une courte courbe d'apprentissage. Cet outil utilise une lumière laser UV de 355 nm et une caméra CCD circulaire qui permet une révision des plaquettes jusqu'à 3000X. Cet outil fournit un examen précis des grandes cartes de plaquettes, augmentant la vitesse de reconnaissance des motifs et diminuant les faux rejets. En plus d'aider à identifier les violations des règles de conception, le système applique des algorithmes de classification automatique pour assurer une reconnaissance efficace et fiable des motifs. Cet outil comprend également des sous-champs pré-configurés flexibles qui permettent un examen détaillé de plus petites fonctionnalités sur une plus grande zone qui peut aider à cibler des points chauds spécifiques liés au rendement. AMAT UVision 5 est un outil très polyvalent, capable d'inspecter une grande variété de géométries de substrat. Il est capable d'inspecter des motifs distincts dans des puces non « carrées » ainsi que des structures telles que des structures de flanc de porte avec facilité. En plus de détecter les défauts de motif, il est également capable de rechercher des anomalies de défaut telles que le bruit aléatoire, les bords flous, et la variation de largeur de ligne. L'unité dispose également de capacités de classification automatique et manuelle des défauts, donnant à l'utilisateur et à la machine de détection des défauts une meilleure compréhension des erreurs liées au dispositif. L'outil comprend également un étalonnage automatisé de la focale et un réglage de la dérive, ce qui permet d'établir un alignement et des performances constantes pour une répétabilité de 10 sigma à des résolutions de sous-nm. La fonction automatisée élimine également les paramètres définis par l'utilisateur et réduit considérablement l'accord manuel, permettant des mesures plus cohérentes et répétables. L'interface de l'actif est également facile à utiliser, avec une interface graphique conviviale qui prend en charge la révision, l'annotation et la sélection de modèles faciles. Il offre également des opérations complètes et des fonctions de contrôle de la qualité directement depuis le bureau. En conclusion, le modèle UVISION 5 est un outil fiable et polyvalent conçu pour l'inspection des masques et des plaquettes dans les installations de fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Il fournit des capacités précises d'examen des motifs et de détection des défauts, et des réglages automatisés pour des mesures fiables. De plus, l'interface graphique conviviale fournit une révision, une annotation et une sélection faciles.
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