Occasion CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397355 à vendre en France

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300 est un équipement automatisé avancé d'inspection des masques et plaquettes utilisé pour l'imagerie haute résolution, la mesure et l'analyse des dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'une combinaison unique d'optiques multi-réflexions et de capteurs haute performance, qui permet une inspection détaillée et précise des motifs complexes qui composent les masques et les plaquettes. Le système contient une unité de transport optique intégrée avec une ouverture numérique élevée (NA) de 0,5, avec un zoom modulaire qui peut être utilisé pour accueillir des plaquettes de différentes tailles. HSEB offre un champ de vision qui peut varier de 0,2 mm à 1,2 mm et est capable de capturer et de mesurer les plus petites structures jusqu'à 0,5 μ m. Il est capable d'images en mode champ lumineux et en mode champ sombre, et est équipé d'un étage automatisé pour le balayage multi-sites. Le sous-système d'imagerie de CARL ZEISS utilise une caméra CCD haute résolution qui capture des images avec une plage dynamique de 12 bits. Il dispose d'une source lumineuse sophistiquée composée d'un illuminateur fluorescent plat, d'un monochromateur et d'une diode laser intégrée. Cette source lumineuse est utilisée pour créer des images multi-canaux, ainsi que des images multi-longueurs d'onde avec quatre longueurs d'onde d'excitation différentes. La machine propose une variété d'outils de traitement d'image, dont la transformée de Fourier, les filtres binaires, les filtres de morphologie et la segmentation d'image. Ces caractéristiques permettent de différencier facilement des caractéristiques telles que des défauts de particules, des lignes ou même des images obstruées, y compris des défauts au sein d'une seule couche sur la plaquette ou même des défauts entre deux couches. CARL ZEISS/HSEB offre également une large gamme d'options de mesure flexibles, telles que les mesures de largeur de ligne, les calculs de recouvrement ou l'évaluation des rapports d'aspect. Il est également équipé d'un classificateur automatisé des défauts et d'un poste d'examen, ce qui simplifie le processus d'inspection. Enfin, une base de données intégrée permet de stocker automatiquement les résultats pour une analyse future. Dans l'ensemble, HSEB Axiospect 300 est un outil avancé et polyvalent d'inspection des masques et des plaquettes qui offre une combinaison d'imagerie haute résolution, de mesures et d'analyse d'image sophistiquée ; idéal pour l'inspection, la recherche et le développement de dispositifs semi-conducteurs.