Occasion CORNING / TROPEL Flatmaster #9227960 à vendre en France
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Vendu
ID: 9227960
Wafer measurement system
Type: 128892-4280 WIN
Includes:
Main body
Computer body
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Vacuum pump
(6) Chucks
Power requirement: 380 V, 2 Phase, 1 kW.
CORNING/TROPEL Flatmaster est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes qui offre une inspection optique à haute vitesse sans contact des masques et des plaquettes pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. La technologie avancée d'optique et d'imagerie du système permet la détection de caractéristiques de plaquettes même au niveau d'une taille de fonctionnalités de 1 micron, permettant des résultats de haute précision, fiables et reproductibles. L'unité a une capacité de balayage à grande vitesse, permettant une détection rapide des défauts. TROPEL Flatmaster combine une gamme de fonctionnalités et de technologies avancées pour une inspection rapide et précise. Au cœur de la machine se trouve une tête d'inspection à 4 canaux qui contient des microlentilles, la reconnaissance dynamique des motifs (DPR) et la technologie intégrée d'identification des puces. Cette approche à 4 canaux permet une inspection à plusieurs niveaux et la mesure simultanée de 50 à 150 défauts par puce. L'outil dispose également d'un zoom contrôlé par ordinateur et d'une capacité de focalisation automatique afin de maximiser la précision. La tête optique plongeante de pointe permet à l'actif d'inspecter des zones difficiles sur la plaquette auxquelles même les techniques mécaniques classiques ont du mal à accéder. Le modèle dispose également d'une chambre environnementale intégrée pour le contrôle climatique automatique. L'environnement stable minimise les signaux de bruit dans l'image et permet d'obtenir des résultats cohérents avec un étalonnage laser et mécanique au besoin. L'équipement est également conçu avec une architecture ouverte qui permet l'intégration de systèmes automatisés de manutention des plaquettes de plusieurs fournisseurs. CORNING Flatmaster est conçu pour fournir une haute résolution et des résultats reproductibles tout en répondant aux exigences de rapidité d'exécution. Le système peut scanner des plaquettes de 100-1700mm et pénétrer jusqu'à 25mm dans un masque pour détecter les défauts. L'unité est facile à utiliser, et la sortie peut être utilisée comme entrée pour les classificateurs automatisés de défauts, les scanners intégrés CAO, ou d'autres analyses. Flatmaster est une machine d'inspection de masque et de plaquettes fiable et précise pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs.
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