Occasion CYBEROPTICS Cobra #173485 à vendre en France
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CYBEROPTICS Cobra est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Il offre une combinaison de haut débit et de précision pour la métrologie détaillée, l'imagerie et les mesures de film. En utilisant les technologies les plus récentes, Cobra est capable d'éclairer sélectivement la zone et l'imagerie par laser, ce qui lui permet d'effectuer des mesures d'imagerie haute résolution, d'épaisseur de film et de superposition de filière avec une grande précision et fiabilité. Pour les applications d'imagerie, CYBEROPTICS Cobra est équipé d'un tableau d'imagerie 2048 × 2048 pixels, avec grossissement optique standard 26x. Le système comprend un étage de mouvement motorisé, permettant à l'unité d'imagerie de se déplacer dans l'axe des x, l'axe des y et autour de la plaquette. En outre, Cobra prend en charge une variété de techniques d'éclairage, telles que l'imagerie par laser, la capture d'images de topologie de champ sombre et de champ lumineux. Pour les applications de métrologie, CYBEROPTICS Cobra est équipé d'un capteur de déplacement haute résolution et d'une variété de logiciels de mesure auto-calibrés pour mesurer avec précision le recouvrement, les largeurs de ligne, la rugosité des bords de ligne et les variations de dimensions critiques. De plus, la machine supporte des filtres optiques passe-bande et multi-canaux pour la mesure colorimétrique, ainsi que l'analyse de Surface Plasmon Resonance (SPR) avancée pour des capacités d'analyse de surface supplémentaires. Pour les applications de mesure de film, Cobra est équipé d'un réflectomètre optique pour la mesure d'épaisseur de film. L'outil peut mesurer avec précision la réflexion à partir de la surface de la plaquette à l'aide d'un spectromètre intégré dans l'actif. Cela permet de mesurer à haut débit le type de film, l'épaisseur du film et la couverture de couche, ainsi que la mesure automatisée du film et la caractérisation de la planéité/rugosité. Dans l'ensemble, CYBEROPTICS Cobra offre un modèle complet et intégré pour l'inspection et la caractérisation des masques et des plaquettes. Avec des capacités d'imagerie haute résolution, de métrologie de précision et de mesure précise du film, l'équipement est un ajout précieux à tout processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, le logiciel avancé et l'étage de mouvement motorisé permettent une inspection des plaquettes à haut débit et efficace, faisant de Cobra un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs.
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