Occasion ESI / MICROVISION 3900 #9255782 à vendre en France
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ESI/MICROVISION 3900 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu par ESI pour être utilisé dans la fabrication de composants de microélectronique, tels que les circuits intégrés (IC). Ce système de lithographie de pointe combine la technologie du microscope électronique à balayage (SEM) et la reconnaissance automatisée des motifs pour permettre l'inspection des photomasques et résister aux plaquettes à motifs pour la largeur des lignes (dimension critique, ou CD) et l'intégrité des motifs. L'interface graphique conviviale de l'unité facilite le fonctionnement efficace et l'acquisition de données. Il met en œuvre des opérations manuelles et automatisées, permettant aux utilisateurs de configurer le mode d'inspection et les paramètres pour leur application spécifique. Les paramètres d'inspection comprennent à la fois la zone de la plaquette à inspecter (comme les zones du dispositif actif ou l'ADA) et les éléments de circuit à inspecter (comme les segments de ligne et les vias). Des images haute résolution peuvent être obtenues avec ESI 3900, permettant une détection et une mesure précises des défauts. Il est équipé d'un courant de faisceau d'électrons de 0,5 nA à 10 nA et d'une résolution de 0,2 μ m. De plus, des motifs d'une largeur de ligne allant jusqu'à 0,3 μ m peuvent être identifiés de façon fiable. Il est alimenté par une machine d'exploitation Windows XP Professional pour un contrôle fiable des outils. En plus des fonctions d'inspection et de mesure de base, l'actif offre également la possibilité de définir des règles d'inspection définies par l'utilisateur pour des modèles plus complexes. Les données d'entrée peuvent être acquises directement à partir d'une mise en page IC ou d'un dessin CAO, ou interfacées avec une bibliothèque d'inspection existante. Les résultats des inspections sont présentés dans un format normalisé dans l'industrie et, si nécessaire, des analyses statistiques peuvent être effectuées sur des données mesurées afin de déceler tout profil ou tendance indiquant une défaillance du procédé. MICROVISION 3900 est conçu pour fournir une inspection rapide, complète, précise et fiable du masque et des plaquettes pour les composants de microélectronique. Ses capacités robustes, sa haute résolution, son jeu de fonctionnalités étendu et sa facilité d'utilisation le rendent bien adapté à une variété d'industries nécessitant un contrôle de la qualité et une analyse approfondie des pièces fabriquées.
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