Occasion ESI / MICROVISION MV 853 #9104086 à vendre en France

L'équipement d'inspection des masques et plaquettes ESI/MICROVISION MV 853 est un outil d'inspection et de métrologie complet et piloté par accélérateur pour des mesures très précises des photomasques et des plaquettes. Combinant les performances de pointe de la famille ESI MV avec une dynamique de particules supérieure, le système fournit une solution complète aux exigences des systèmes sophistiqués d'inspection des masques et des plaquettes pour l'industrie des semi-conducteurs. ESI MV 853 est une unité entièrement automatisée qui est capable d'inspecter et de mesurer une grande variété de géométries de masque et de plaquettes avec une vitesse et une précision sans précédent. Il offre l'imagerie la plus haute résolution disponible aujourd'hui et est équipé de plusieurs outils de mesure précis tels que Layout Comparison (LQV), Overlay Measurement (OVM), Spectral Reflectivité and Wavelength Dependent Measurement (WMD), ainsi que d'un module de détection de défaut fiable (DDM) pour localiser les défauts macro bloqués sur la ligne, les bords ainsi que La technologie propriétaire d'acquisition de données à haut débit de la machine utilise des accélérateurs et des miroirs de pointe pour une vitesse et un débit excellents. En mode DIWNAE (Deep Isolated Wide Noise and Edge Effect), il offre une gamme dynamique allant jusqu'à 60dB et mesure les tailles des fonctionnalités jusqu'à 5,1nm. De plus, la capacité accrue du signal permet à l'outil de mieux distinguer les défauts des non-défauts tout en offrant une précision de mesure et de détection plus élevées. Les autres caractéristiques de MICROVISION MV 853 comprennent Auto Focus, Pattern Shooting, Champ de vue Finder, Middle Focus, Dynamic Focus, et Résolution Range Extender. La fonction Auto Focus guide automatiquement l'utilisateur vers le réglage de mise au point optimal basé sur la profondeur de wafer/masque. La fonction Pattern Shooting capture des images de motifs prédéfinis ou de régions rectangulaires d'intérêt sur le masque. Le Champ de Vision Finder (FOVF) permet aux utilisateurs d'acquérir plusieurs images dans diverses orientations et agrandissements. La fonction Intermediate Focus analyse rapidement l'ensemble de la plaquette pour trouver les paramètres de mise au point optimaux. Dynamic Focus peut être utilisé pour trouver rapidement les paramètres de mise au point optimaux pour les zones ou les domaines d'intérêt. Enfin, l'extension de gamme de résolution permet aux utilisateurs de mesurer des caractéristiques mineures qui ne sont pas possibles avec une optique de diffraction limitée. MV 853 est un outil complet d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour fournir des mesures très précises avec un débit et une précision optimaux pour un large éventail de géométries de masque ou de plaquettes. Ce modèle offre la meilleure résolution d'imagerie de classe, une gamme dynamique, une capacité de signal améliorée et plusieurs autres outils de métrologie précis pour répondre aux exigences des équipements d'inspection de masques et plaquettes les plus complexes.