Occasion HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9171729 à vendre en France
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Vendu
ID: 9171729
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
E-Beam defect inspection and review system, 12"
Integrated front-end
Dual pod FOUP, 12"
(2) High quality flat panel displays
GUI / Image computer XEON dual CPU 3.2GHZ, 2GB memory
Host computer Pentium IV 3.2 GHZ, 2GB memory
DBDB (Detection baseon design base) function
E-Chuck wafer holder
Active damping
TFE Electron beam emission source sub-system
Electron optics column sub-system
HV Power sub system
Programmable wafer biasing & charge balance control
SE and BSE high speed detection
2012 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320 est un équipement entièrement intégré d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour la détection efficace des défauts et autres irrégularités sur les plaquettes et les masques. Le système est capable d'effectuer des images en deux et cinq dimensions, mesurant jusqu'à 17 microns par pixel et jusqu'à 32nm de résolution avec ses fonctionnalités améliorées. Grâce à une technique d'imagerie avancée, le HMI eScan 320 est capable de scanner et de détecter automatiquement les défauts mineurs et les variations à grande échelle sur une variété de masques et de plaquettes, indépendamment du matériau ou des meilleures dimensions. L'unité utilise des techniques d'imagerie dynamique pour acquérir rapidement et comparer avec précision des images afin de détecter toute irrégularité pouvant affecter la continuité ou la qualité des puces. En outre, HERMES MICROVISION eScan 320 est capable d'effectuer une analyse avancée des défauts sur de grandes surfaces en raison de sa vitesse et de sa couverture accrues. Cette analyse avancée comprend une analyse isotrope pour divers types de défauts, tels que les défauts de grande ligne, les défauts de trépied, les défauts polygonaux et les défauts de pas. Il comprend également l'imagerie localisée des défauts pour les petits trous de diamètre, la variance de la distance de grille et les shorts. EScan 320 fonctionne en mode basse puissance, ce qui permet d'inspecter à grande vitesse de grandes surfaces tout en réduisant la consommation électrique. Cette machine portable de table est conçue pour être transportée et manœuvrée facilement. L'outil est également livré avec un superviseur intégré des actifs pour surveiller les activités de performance et d'entretien du modèle. HERMES MICROVISION/HMI eScan 320 est un masque puissant et économique et un équipement d'inspection de plaquettes qui peut détecter et analyser une variété de défauts sur une variété de matériaux. Grâce à ses techniques d'imagerie avancées, sa grande précision et sa faible consommation d'énergie, le HMI eScan 320 est l'outil idéal pour les fabricants qui cherchent à optimiser leurs processus d'inspection des masques et des plaquettes.
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