Occasion HERMES MICROVISION / HMI eScan 405 #9244052 à vendre en France
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HERMES MICROVISION/HMI eScan 405 est un équipement entièrement automatisé d'inspection des masques et des plaquettes pour l'inspection des masques semi-conducteurs utilisés dans les processus de lithographie. Le système facilite l'inspection sous quatre angles, y compris l'inspection de la transmissivité, de l'absorbabilité et de la réflexion, ainsi que la localisation automatisée des défauts. Cette unité peut inspecter 16M masquer les images en quelques minutes, en accélérant l'ensemble du processus avec une grande précision, et une vitesse incroyable. HMI eScan 405 se compose d'une machine optique haute performance, comprenant des objectifs 10X et 20X, un moniteur de 8 pouces, et un mandrin de masque à vide, lui permettant d'acquérir des images de lumière UV à partir de fonctionnalités de masque avec un excellent niveau de précision. En utilisant un mécanisme de calibration intégré et un algorithme de focalisation automatique avancé, l'outil capture avec précision des images à haute résolution avec une taille de pixel efficace de 340 x 510 nm. Le processus d'inspection du masque/plaquette dans HERMES MICROVISION eScan 405 commence par l'alignement du masque. L'image du masque est ensuite acquise à l'aide d'une paire d'unités d'éclairage LED. Au cours de ce processus, les bords du masque sont en focus, et l'image originale est numérisée et analysée à l'aide d'algorithmes d'image avancés. Toutes sortes de défauts et d'anomalies d'aspect-ratio de masque sont rapidement détectés dans l'image pour conclure rapidement le processus d'inspection avec des résultats précis. Pour les inspections de plaquettes, l'actif est équipé d'un étage rotatif pour balayer plusieurs sites consécutivement avec une grande précision. Après le processus d'acquisition, les progiciels intégrés permettent de détecter et de cartographier les défauts. Cette approche est différente du processus manuel typique car ce modèle peut analyser efficacement les images masques/plaquettes en une fraction de temps pris par les opérateurs manuels. De plus, l'équipement dispose d'une image de plaquette agrégée sous la forme d'un code à barres, qui peut être utilisé pour suivre le processus des produits connexes et retracer l'historique de validation des plaquettes. Le système EScan 405 dispose également d'un programme à haut débit. L'unité permet à l'utilisateur de pré-sélectionner les zones de wafer/masque, qui peuvent être inspectés plus rapidement, économisant du temps qui serait autrement pris par les méthodes d'inspection traditionnelles comme la vérification sous-terrain (SFV). La machine offre également l'observation automatique au microscope optique haute résolution pour les dispositifs semi-conducteurs. HERMES MICROVISION/HMI eScan 405 est un outil précieux pour inspecter et détecter diverses failles dans les images de masques et de plaquettes. La haute vitesse, la précision et la qualité sont garanties - faisant du HMI eScan 405 un choix idéal pour les applications semi-conductrices.
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