Occasion HITACHI IS 2700SE #9044470 à vendre en France
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ID: 9044470
Defect inspection system
Power : 200VAC, 60A, 3phase, 50/60Hz
Operation unit:
Upper & Lower Monitor
Keyboard & Joystick
System Computer
CP750A Video Printer
Main AC Power Box
Coherent Laser Box
Missing:
Dalsa Header and controller
Stage X-Y controller
Stage Z controller
Robot Assembly in loader unit
TDK TAS300 Load port, L/R
2001 vintage.
HITACHI IS 2700SE est un équipement professionnel d'inspection des masques et plaquettes qui peut être utilisé pour une variété d'applications. Le système comprend une console de commande, une station d'imagerie et une station de wafer. La console contient l'unité centrale, le processeur de commande et l'équipement de support auxiliaire. La station d'imagerie contient une caméra CCD à balayage progressif, des optiques de correction de déviation et d'astigmatisme, et une station de masque qui est équipée d'un étage de plaquette entièrement automatisé. La station de wafer détient un mandrin de maintien de wafer et un capteur d'image de 8 pouces à cadre ouvert. Le processus d'inspection est conçu pour détecter les défauts du bord de la plaquette, de la membrane et de l'emballage des masques d'échantillon. Des caractéristiques telles que l'inspection des couleurs, l'amélioration de l'image, la mesure et l'analyse intégrée des défauts sont incluses, permettant une inspection plus rapide et plus précise des masques. La caméra CCD a une résolution de 4K pixels qui fournit des images haute résolution des masques d'échantillons. La gamme dynamique de la caméra permet de visualiser une variété de masques avec différents niveaux de luminosité, de contraste, de couleur, de motif et de résolution. La machine d'inspection comprend également un certain nombre de presets de filtres qui permettent à l'utilisateur de sélectionner les paramètres d'inspection en fonction des masques d'échantillons inspectés. En outre, l'outil comprend un certain nombre d'algorithmes pour faciliter la détection fine des défauts et l'analyse automatisée des défauts. L'actif IS 2700SE est un modèle très efficace pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il dispose d'une interface logicielle qui permet un contrôle aisé des différentes fonctions de l'équipement. Le système est capable d'exécuter différents programmes et accélère considérablement le processus d'inspection des masques. De plus, des composants tels que la caméra CCD, l'optique, les presets de filtres et les algorithmes automatisés d'analyse des défauts permettent à l'utilisateur d'obtenir des résultats d'inspection précis et fiables.
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