Occasion HITACHI LS 5000 #293811582 à vendre en France

L'équipement HITACHI LS 5000 Masque et Wafer Inspection est une solution dédiée d'inspection de haute précision, utilisant l'imagerie optique et des algorithmes propriétaires d'alignement de masque. Il est conçu pour l'inspection en ligne et hors ligne des masques pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs et peut également être utilisé pour l'inspection 3D des masques et des plaquettes. HITACHI LS-5000 utilise un étage cinq axes polyvalent, qui permet un balayage rapide des plaquettes composées et une précision d'enregistrement supérieure en combinant des axes indépendants. Deux têtes de caméra sont synchronisées pour fournir un angle d'inclinaison jusqu'à 45 degrés, ce qui le rend capable d'une inspection tridimensionnelle. Les lentilles des deux têtes peuvent être changées automatiquement en fonction de la taille du masque. Le système comprend le Wafer Defect Review Software, qui accumule, gère et effectue l'analyse des défauts. Le logiciel fonctionne en collaboration avec le processus d'inspection du masque, révélant les défauts et recueillant des données. Cette unité peut être utilisée pour l'examen automatisé des défauts et la classification des défauts. Le Finder de défaut prédictif (PDF) est équipé d'un algorithme complexe qui reconnaît les motifs de l'analyse des données d'image et prédit les défauts potentiels. La machine aide également à accélérer la ré-inspection manuelle avec l'aide d'un examen de défaut de masque basé sur l'IA en temps réel. En outre, il supporte un fonctionnement entièrement automatisé via une fonction de balayage automatique, permettant une inspection efficace et cohérente des masques. Il offre également d'autres fonctionnalités telles que l'outil d'inspection étanche à l'air, et les fonctions d'auto-étalonnage intégrées. L'actif peut également être mis en œuvre avec des systèmes secondaires tels que la métrologie CCD. Et son interface conviviale permet une configuration rapide et facile, ce qui améliore la productivité. Le modèle LS 5000 Mask & Wafer Inspection est une machine d'inspection très fiable et économique capable de répondre aux exigences les plus strictes. Ses capacités d'inspection de haute précision et son fonctionnement entièrement automatisé en font une solution idéale pour une production à haut volume.