Occasion HITACHI LS-6700 #9087166 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9087166
Particle inspection system
Throughput: Under normal inspection mode 37 WPH
Particle detection size: 0.05um and higher
Wafer size: Configured for 12"
Includes manual
Currently in cleanroom.
HITACHI LS-6700 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes développé pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de mesurer avec précision les défauts jusqu'à l'échelle du nanomètre sur les plaquettes et les masques. Le système se compose de trois parties modulaires : une source lumineuse, une unité de balayage optique et une unité informatique. L'unité source de lumière émet un large spectre de lumière qui est ensuite dirigé via un séparateur de faisceau vers l'unité de balayage optique. L'unité de balayage optique est constituée d'une caméra haute définition, d'un objectif et d'une unité de détection de position en temps réel. Ensemble, ces composants permettent à la machine d'inspection du masque et de la plaquette de capturer des images haute résolution de la surface de la plaquette ou du masque avec une précision de niveau nanométrique. L'unité informatique est constituée d'une grande capacité de mémoire et d'une puissante capacité de traitement, lui permettant de traiter rapidement les données d'imagerie. Il comprend également une interface utilisateur graphique intuitive (UI) qui permet aux utilisateurs de personnaliser facilement et rapidement le processus d'inspection masqué et wafer. En plus de fournir des renseignements sur la taille et la position des défauts, HITACHI LS 6700 reconnaît également une variété de types de défauts. Cela comprend la mesure des ouvrants/courts, des hauteurs de pas, des puits et d'autres imperfections de surface jusqu'à l'échelle du nanomètre. Grâce à ses algorithmes internes, les utilisateurs de l'outil d'inspection masque et plaquette peuvent rapidement identifier et signaler les défauts potentiels. En termes de répétabilité et de précision, LS-6700 est l'un des meilleurs systèmes sur le marché. Il possède une excellente répétabilité de 0,9 pour cent, et une précision de positionnement allant jusqu'à 0,2 nanomètres. L'actif est également bien adapté pour l'inspection multi-filières de plaquettes et est capable d'analyser jusqu'à quatre décès à la fois. Dans l'ensemble, le modèle LS 6700 est un excellent modèle d'inspection des plaques, capable de fournir une imagerie de haute précision avec une résolution au niveau du nanomètre. Sa conception modulaire le rend flexible et facile à utiliser, tandis que ses puissantes capacités de traitement et de répétabilité permettent une détection rapide et précise des défauts.
Il n'y a pas encore de critiques