Occasion HMI eScan 300 #9200269 à vendre en France
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ID: 9200269
E-Beam inspection system
Front end:
Brooks Automation:
Fixload V6, 12" Load port
ABM-407B-1-S-CE-S293 Robot
ESC Controller
Pre aligner
TREK Model P1122 electrostatic voltmeter
Main body
Power rack
VARIAN PTS06001UNIV Dry pump.
Le HMI eScan 300 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes utilisé pour mesurer des images de différentes tailles jusqu'à 300 mm inclus. Il offre un superbe contraste et acuité, combiné à la capacité de détecter des caractéristiques de contraste faible sur des images de masque opaques et transparentes. Le système utilise une unité laser-optique avancée pour acquérir des images haute résolution, avec des résolutions allant de 50nm à 0.1mm. Il est soutenu par une puissante plate-forme informatique et un logiciel qui traite les données des scans rapidement et avec précision. EScan 300 combine un détecteur d'image optique de 16bits avec une machine d'éclairage laser à deux bandes de 256nm de longueur d'onde courte et longue qui ont des réglages de puissance et d'intensité de signal configurables individuellement. Cela permet d'augmenter la vitesse et la précision du balayage, tout en produisant des images de haute qualité. Il offre une taille de tache laser de 9um qui est essentielle pour détecter les petits défauts et améliorer les rapports signal à bruit. En outre, une focale réglable et une capacité de zoom peuvent fournir des images aussi grandes que 40x la taille de la résolution native. Pour mesurer les images, le HMI eScan 300 utilise un ensemble d'outils conçus pour faciliter la classification et la validation des échantillons. Il s'agit notamment de la détection des bords, de la mesure de l'épaisseur du film et de la détection des défauts. L'outil de détection des bords identifie toutes les zones qui ne sont pas uniformes, ce qui permet d'identifier avec précision les bords des couches actives, les limites des caractéristiques soudées et les rayures. L'outil de mesure de l'épaisseur du film mesure l'épaisseur des masques acides, des couches de placage et des couches métalliques. Enfin, l'outil de détection des défauts permet de détecter les vides, l'accumulation de particules et les broches. EScan 300 fournit également une interface utilisateur intuitive, avec des fonctionnalités telles que des tooltips, des marqueurs codés en couleur et la sélection de régions. Cette interface utilisateur permet de simplifier et d'améliorer le travail de l'inspecteur de masque. L'outil comprend également un environnement de qualité industrielle où jusqu'à 4 images de masque et de plaquette peuvent être inspectés simultanément. Cela permet un flux de travail efficace et la productivité. Enfin, le HMI eScan 300 est un outil innovant et économique pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il contribue à améliorer la précision et à réduire les coûts associés à la production de circuits intégrés modifiés et à améliorer les processus de diagnostic et d'assurance de la qualité. Avec ses puissantes capacités matérielles et logicielles, eScan 300 est un choix idéal pour tous les besoins d'inspection dans l'industrie des semi-conducteurs.
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